VIBRATIONISOLATIONSYSTEMS微细振动隔离系统.PDF

VIBRATION ISOLATION SYSTEMS 微细振动隔离系统 深 圳 市 远 丰 精 密 机 电 有 限 公 司 电话：0755传真：0755 隔振 振动(Vibration) 振动是指在基准位置上产生的机械式摇动，也就是说，构造物或地板等受动态外力之后，随着时间推 原理 移，开始从运动平衡位置产生重复运动的现象。在各种振动中，地基振动是我们能够感觉到的较重振动， 但也有很多我们在日常生活中难以感知的微细振动，这种微细振动会给半导体工程设备、 电子显微镜、 精密测量器、 光学及光学相关机器之类对振动敏感的超精密设备性能带来影响。 振动的分类 根据 —定时间内出现的次数不同，振动分为周期振动和非周期振动；根据持续性不同，分为连续振动 和瞬间振动。周期振动 一般出现在旋转的机器上，可通过振幅谱测量。除此之外的所有振动则属千随 机或非周期振动，该类振动可通过振幅谱密度来测量。 一一叩 伈一尸 周期振动信号 非周期振动信号 持续振动信号 随机振动僧号 稳定振动信号 瞬间振动信号 振动的单位 振动—般可通过位移、 速度和加速度来表示，此时振动的形状和周期无论用位移、 速度、 加速度中任 何一个来表示均是相同的，但差异在千存在位相差。 就正弦波信号而言，位移、 速度及加速度增幅与时间函数有着数学上的相关关系。 如不考虑位相，速度则由与频率成比例的任意常数除以加速度来计算得出，位移则以与频率自乘成比 例的任意常数除以加速度来计算得出。 I 类别 基本单位 其他常用单位 I 位移Displacement cm 1皿= 1 D -3mm = 1 D -•an 1mm = 10 一1 an = 10-3m 速度Velocity cm/sec 1 m/sec = 1 D 1cm/sec = 1 D 3mm/sec cm/s2 (Gal) 1 g = 980 cm/sec 2 1 m/sec2 = 10 2cm/sec 2 位移，速度，加速度的关系 Acceleration, a Velocity, v Displacement, d ;\