厚薄膜材料与器件 第一章 绪论.ppt

薄厚膜材料与器件The Films and the Devices 材料科学与技术系 黄焱球 引言 问题的提出 什么是薄膜、厚膜？ 为什么要发展薄膜、厚膜及其元器件？ 薄膜、厚膜是怎么制备的？ 薄膜和厚膜的定义 薄膜（thin film)： 指采用一定工艺在一定材料（又称衬底、底材、基片）的表面涂覆厚度约为0.01至数?m的一层或多层涂层材料。一般认为，膜厚不超过1 ?m左右时为薄膜。 厚膜（thick film）： 当涂覆的膜厚大于5 ?m时，称厚膜。 不同类型的材料及其器件 大尺寸 ? 小尺寸 ? 微小尺寸 （数毫米以上） （毫米级） （微米级） 第一章 绪论 在信息技术发展突飞猛进的今天，作为特殊形态材料的薄膜已经成为微电子学、光电子学、磁电子学等新兴交叉学科的材料基础，已广泛渗透到当代科技的各个领域。 电子薄膜技术与电子薄膜材料的发展涉及几乎所有前缘科学，其应用领域包括：电子、计算机、磁记录、信息、传感、能源、机械、光学、航空、航天、核工业等部门。因而受到各国的高度重视。 一、引言 薄膜材料由于其在微观结构、宏观性能等方面所具有的特殊性, 在科学技术发展和人们的日常生活中发挥着越来越重要的作用。 薄膜材料研究不仅吸引了为数众多的科技工作者, 而且受到各国高技术产业界的广泛关注。 薄膜材料研究已经渗透到物理学、化学、材料科学、信息科学乃至生命科学等各个研究领域, 薄膜科学已经逐渐发展成为一门多学科交叉的边缘学科。 从人类开始制作陶瓷器皿的彩釉算起, 薄膜的制备与应用已经有一千多年的发展历史。 从制备技术、分析方法、形成机理等方面系统地研究薄膜材料则起始于二十世纪五十年代。 直到二十世纪80年代, 薄膜科学才发展成为一门相对独立的学科。 促使薄膜科学迅速发展的重要原因是薄膜材料的强大的应用背景、低维凝聚态理论的不断发展和现代分析技术的出现及分析能力的不断提高。 在信息显示技术中的应用 在信息产品中的应用 在计算机技术中的应用 在计算机技术中的应用 在信息存贮技术中的应用 在日常生活中的应用 薄膜科学的研究内容： 薄膜生长理论和薄膜制备技术； 薄膜的结构、成分和微观状态； 薄膜的宏观特性及其应用。 二、基本概念 表面相? 气固界面、液固界面 薄膜生长的本质是气体-固体或液体-固体相变 表面成核 ?cos ?= ?’- ?” 薄膜生长的宏观特征 薄膜生长的微观特征 Adatom diffusion Diffusion barrier Temperature effects Bond energy h = ? exp(Eb/kT) 薄膜生长初期的岛 薄膜的薄膜形貌 薄膜晶体生长与温度的关系 薄膜形貌与生长条件的关系 入射原子动能的变化 不同入射能量下基片温度的变化 不同温度下薄膜的生长特征 三、薄厚膜的研究现状及发展趋势 1. 薄膜和厚膜材料研究现状 薄膜材料的研究现状 2. 薄膜和厚膜材料的发展趋势及前景 参考资料 《新型电子薄膜材料》，陈光华等编著，化学工业出版社。 《薄膜物理》，曲喜新编著，上海科学技术出版社。 《丝网印刷工艺》，郑德海等编著，印刷工业出版社。 （1）新型半导体薄膜 以非晶硅氢化物（a-Si:H）和非晶硅基合金膜 （a-SiGe:H、a-SiC:H、a-SiN:H）为代表。为 太阳能电池、显示、传感、探测、发光材料等。 （2）超硬宽带隙薄膜 金刚石、氮化物等。窗口材料、紫外探测等。 （3）纳米薄膜 发光材料、光电存储等。 （4）超晶格和量子井薄膜 发光元器件、激光、探测器等。 （5）光电子薄膜 光致发光、电致发光器件。 （6）介质薄膜、超导薄膜、巨磁阻薄膜 探测、存储、传感等元器件。 厚膜材料的研究现状 厚膜材料是技术性非常高的材料，材料的各种物理特性和材料的配方密切相关。目前研究开发的厚膜元器件主要有： （1）厚膜导体材料 (Thick Film Conductors) （2）厚膜电阻 (Thick Film Resistors) （3）厚膜电位计 (Thick Film Potentiometers) （4）厚膜压敏电阻 (Thick Film Varistors) （5） 厚膜热敏电阻 (Thick Film PTC/NTC Thermistors) （6） 厚膜介电材料 (Thick Film Dielectrics) （7）厚膜电感器 (Thick Film Inductor) 厚膜电阻 厚膜 热敏电阻 厚膜电