原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
美国ASTM_D5127电子及半导体工业用纯水水质要求
美国ASTM D5127电子及半导体工业用纯水水质要求
项目
TypeE-1
TypeE-1．1
TypeE-1.2
TyPeE-2
TyPeE-3
TyPeE-4
线宽(μm)
1.0-0.5
0.5-0.25
0.25-0.18
5-1
5
-
电阻率
18.2
18.2
18.2
17.5
12
0.5
热源(EU/ml)
0.03
0.03
0.03
0.25
-
-
TOC(μg／L)
5
2
1
50
300
1000
溶解氧DO(μg／L)
1
1
1
-
-
-
蒸发残渣(μg／L)
1
0.5
0.1
-
-
-
微粒(μm)(SEM检测)
0.1—0.2
1000
1000
200
0.2—0.5
500
500
l00
3000
0.5—1.0
50
50
1
10000
10
-
-
-
100000
微粒(μm)(在线检测)
0.05—0.1
500
500
100
0.1—0.2
300
300
50
0.2—0.3
50
50
20
0.3—0.5
20
20
10
＞0.5
4
4
1
细菌
100ml Sample
1
1
1
1L Sample
1
1
0.1
10
10000
100000
硅(μm)
总硅
3
0.5
0.5
10
50
1000
溶解硅
1
0.1
0.05
离子(μg／L)
NH4
0.1
0.1
0.05
-
-
Br
0.1
0.05
0.02
-
-
Cl
0.l
0.05
0.02
1
10
1000
F
0.1
0.05
0.03
-
-
-
N03
0.1
0.0
文档评论（0）