低温泵抽气机理之二低温吸附.pptVIP

现代实验技术 内容与目的 介绍各种与光电子微电子有关的实验技术的基本原理 通过实验，掌握使用相关的实验技术，进行科研训练，达到培养创新思维和动手能力 第一章：真空技术 低于正常大气压的气体状态的特定空间，称为真空 特点： 1、真空容器内外存在气压差 2、气体分子之间或分子与其他质点之间的碰撞很少（气体的密度n很低） 真空的度量 p=nkT n-m3, T-K, p-Pa =N/m2 （帕斯卡） 度量单位： 标准大气压＝1.01325?105 Pa 一个标准大气压的1/760＝1乇 1乇＝1.333224 ?102 Pa 真空度的划分 粗真空 760-10乇 低真空 10-10-3乇 高真空 10-3-10-8乇 超高真空 10-8-10-12乇 极高真空 10-12乇 不同真空度下的测量方法 在低真空时采用热偶真空计 热偶真空计是以铁－康铜，铜－康铜或康铜－镍鉻等材料组成 热丝加恒定的电流（mA级）热平衡时具有确定的温度，热电偶产生相应的电动势，热电偶的热端温度与热丝周围散热情况有关，在低真空下以气体热传导为主，因此热端温度与气体压强有关，当气压增大，热传导能力强，使热端温度降低，热电动势小，反之，热电动势增大，由此测定真空度高低 热电偶真空计校准曲线 热偶真空计在使用前应按照管壳上记录的加热电流进行校正，长时间使用使用后，必