GB/T 32277-2015硅的仪器中子活化分析测试方法.pdf

ICS 77.040 H 17 GB 中华人民共和 国 国彖标淮 GB/T 32277—2015 硅的仪器中子活化分析测试方法 Test method for instrumental neutron activation analysis (INAA) of silicon 2015-12-10 发布 2017-01-01 实施 幅畿勰畫曹1警彎畫发布 GB/T 32277—2015 -—1— 刖 旨 本标准按照GB/T 1.1—2009给出的规则起草。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)与全国半导体设备和材料标准 化技术委员会材料分会 (SAC/TC 203/SC 2)共同提出并归口。 本标准起草单位：乐山乐电天威硅业科技有限责任公司、 中国原子能科学研究院、新特能源股份有 限公司。 本标准主要起草人:李智伟、张亚东、张新、姚淑、银波、邱艳梅。 GB/T 32277—2015 引 言 中子活化分析(NAA)是一种能够对多种材料进行多种元素的高灵敏度定量、定性分析的方法。特 別是在半导体T业中，它被指定 于分析和评价高纯多晶硅( 以生长半导体级硅单晶及硅片的原材 料)中的痕量元素污染。光伏产业中，硅原料需求的增长引发了更大规模的多晶硅生产和各种提纯硅原 料替代方法的研发。用这些方法生产的硅材料在目前的文献资料中一般被称为太阳能级硅，并具有多 种形状，如块状、粉末状和颗粒状。 随着多晶硅和太阳能级硅生产规模的扩大，其质量控制也应加强，而仪器中子活化分析(INAA)是 可选方法之一。仪器中子活化分析是一种直接对辐照样品实施分析的方法，与之相比，传统的放射化学 中子活化分析方法(RNAA)要将辐照后的样品进行化学分离，除去干扰物质或者浓缩待检放射性同位 素。当前,一些实验室通过使 不同的中子源、辐照条件、 电子设备和制样方法，实现了仪器中子活化分 析，并将其应 于各种形态、种类的硅样品。硅的仪器中子活化分析方法的标准化将消除分析方法间的 差异，从而建立一个通用的参考分析方法。 n GB/T 32277—2015 硅的仪器中子活化分析测试方法 1范围 1.1本标准规定了硅材料的仪器中子活化分析测试方法。 1.2本标准适 于化学气相沉积法或冶金提纯方法生产的硅材料的仪器中子活化分析。分析样品可 以是单晶硅、多晶硅，而多晶硅的形态可以是粉末、颗粒、块状或硅片。 1.3本标准适 于材料的宏观成分分析。如按本测试方法进行额外的样品制备，并在样品抽取、传送 和制备过程中避免表面污染，也可实现样品的表面或近表面区域分析。 1.4本测试方法仅适 于附录A中所列痕量元素的热中子或超热中子活化分析。 1.5本测试方法不适 于非晶硅薄膜、多晶硅薄膜或微晶硅薄膜的分析。对于受到人为掺杂高浓度特 殊元素的硅样品，也不属于本测试方法适用范围，但在检查过掺杂对安全、检测限和最小等待时间/崗的 影响之后，该测试方法还是可能适 。 1.6本测试方法 于分析大范围的痕量元素(见附录A)。通常，样品的辐照时间应比刈Si的衰变寿命 长，而且应等辐照生成的釘Si充分地衰变之后才能实施分析。 2规范性引 文件 下列文件对于本文件的应 是必不可少的。凡是注日期的引 文件，仅注日期的版本适 于本文 件。凡是不注日期的引 文件，其最新版本(包括所有的修改单)适 于本文件。 GB/T 620—2011 化学试剂 氢氟酸(ISO 6353-3： 1987,NEQ) GB