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用椭圆偏振仪测量薄膜厚度 ——叶昕;【实验目的】;【实验原理】; 图8.1;设 表示光的入射角，和分别为在界面1和2上的折射角．根据折射定律有
（8.1）
光波的电矢量可以分解成在入射面内振动的p分量和垂直于入射面振动的s分量．若用Eip和Eis分别代表入射光的p和s分量，用Erp及Ers分别代表各束反射光K0，K1，K2，…中电矢量的p分量之和及s分量之和，则膜对两个分量的总反射系数Rp和Rs定义为
（8.2）
;经计算可得
（8.3）
式中，r1p或r1s和r2p或r2s分别为p或s分量在界面1和界面2上一次反射的反射系数。为任意相邻两束反射光之间的位相差。根据电磁场的麦克斯韦方程和边界条件，可以证明
（8.4）;式（8.4）即著名的菲涅尔（Fresnel）反射系数公式。由相邻两反射光束间的光程差，不难算出
（8.5）
式中，为真空中的波长，d和n2为介质膜的厚度和折射率．
在椭圆偏振法测量中，为了简便，通常引入另外两个物理量和来描述反射光偏振态的变化．它们与总反射系数的关系定义为
;; （8.6）
式中各绝对值为相应电矢量的振幅，各值为相应界面处的位相．由式（8.6）、（8.6）可以得到式（8.7）
（8.7）
比较等式两端即可得
（8.8）
（8.9）
;式（8.8）表明，参量与反射前后p和s分量的振幅比有关．而（8.9）式表明，参量与反射前后p和s分量的位相差有关．可见，和直接反映了光在反射前后偏振态的变化．一般规定，和的变化范围分别为 和 。
当入射光为椭圆偏振光时，反射后一般为偏振态（指椭圆的形状和方位）发生了变化的椭圆偏振光（除开 且 的情况）．为了能直接测得和，须将实验条件作某些限制以使问题简化．也就是要求入射光和反射光满足以下两个条件：
（1）要求入射在膜面上的光为等幅椭圆偏振光（即p和s二分量的振幅相等）．这时，;式（8.8）则简化为
（8.10）
（2）要求反射光为一线偏振光．也就是要求（或），式（8.9）则简化为
（8.11）
满足后一条件并不困难．因为对某一特定的膜，总反射系数比 是一定值．式（8.6）决定了也是某一定
值．根据（8.9）式可知，只要改变入射光二分量的位相差 ，直到其大小为一适当值（具体方法见后面的叙述），就可以使 （或 ），;从而使反射光变成一线偏振光．利用一检偏器可以检验此条件
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