无尘室与运作介绍.pptVIP

洁净室运作介绍 报告大纲 洁净室定义与历史演练 洁净室的标准规范与分类 洁净室系统设计模式 洁净室构装设备与材料 洁净室的测试与验收 洁净室的运转管理 CLEAN ROOM定义 洁净室历史演进 1958 美国发展太空科技开始研究洁净室 1961 完成美国空军洁净室相关规格 1963 完成美国联邦洁净室规格 Federal Standard No.209 洁净室国际标准规范 美国联邦 FED STD 209 ISO / TC 209 洁净室标准FED STD 209E 洁净室标准ISO / TC 209 洁净室的分类 层流模式 乱流模式 混合模式 层流型系统 乱流型系统 并用型系统 C/R各方式之比较 C/R系统基本要求 控制微粒子数量至一定标准 防止外界微尘粒子进入 室内产生的微尘粒子与有害气体迅速的排出室外 维持室内温度、湿度和压力 防止静电的干扰 系统稳定与节约能源考量 C/R洁净设施 中央空调系统（AIR CORTROL SYSTEM） FFU（FAN FILTER UNIT） FMU（FAN MODULE UNIT） 空气浴尘机（AIR SHOWER、PASS PAX） 洗手烘干机（HAND WASHER DRYER MACHINE） 缓冲区（BUFFER ROOM） 黏着脚垫（STICKY MAT） 高效滤网（High E