半导体制造工艺 教学课件 ppt 作者 张渊 第9章　掺　　杂.pptVIP

9.4　离子注入机 (2)束流检测器　在靶盘的背后有一个离子束检测器(法拉第测试杯 ——金属杯，又叫剂量控制器)，用以监测注入的离子数量，如图9-?42所示。2.终端台(1)靶盘运动驱动装置　靶盘运动驱动装置提供靶盘做旋转运动(Rotary drive)、往复直线运动(Linear drive)以及靶盘两个方向的偏转(Gyro drive)的动力。(2)硅片传送装置　当硅片盒被放到移动片盒台上后，需要通过一系列的操作将没注入过的硅片从片盒中取出放到靶盘上，同时又要把注入好的硅片从靶盘上取下送回到空片盒中，为了提高效率，装片和卸片同时进行。 9.4　离子注入机 1)真空片盒(Vacuum cassette)：真空片盒是让硅片从大气状态进入到真空状态或从真空状态回到大气状态的一个过渡装置。 2)硅片装卸传输机械手(Transfer arm)：和前面的电动机驱动一样,它是一套具有编码器的直流伺服电动机,通过齿形带带动传输手臂的旋转。(3)监视与操作界面　这一部分实现对工艺的全过程的程序设置、工艺参数设置、工艺监控等。9.4.6　真空系统离子注入机的许多部件内部都要求真空系统，比如离子源、加速器、靶室等。一般用真空泵和闭合的抽气系统来实现。 9.5　离子注入工艺 9.5.1　离子注入工艺规范操作1.接片检查2.注入工艺操作1)按设备操作顺序和规范进行设备检测、工具检测与