硅基多模干涉型光波导耦合器%2f偏振分束器的研制.pdfVIP

摘要 摘要 随着光通信／传感系统的发展，对光波导耦合器／偏振分束器的性能提出更高要求。 硅基多模干涉(MMI)型耦合器／偏振分束器具有稳定性高、集成度高、批量化和与CMOS 工艺兼容等优点，是光通信借感领域中重要的无源器件。本文以硅基MMl型耦合器／ 偏振分束器为研究对象，开展了相应的理论与实验工作。 第二章推导得到入口端偏移激励MMI型光波导耦合器成像理论模型，分析了单模 波导内模式振荡现象。提出了入口端偏移激励MMI型光波导耦合器结构，无需添加调 制部件实现分光比可调。提出了入口端偏移激励、输出端并列耦合1×2MMI型光波导 耦合器结构，基于有效折射率法(EIM)、导模传输分析法(G—MPA)和三维有限差分 MMI 束传播法(FD．BPM)，分析了该结构光波传输性能，分析了入口端偏移激励l×4 型光波导耦合器性能。 第三章推导给出了缓冲层隙缝的微扰理论模型，分析了缓冲层内隙缝参数对多模区 模场分布的影响。提出了基于缓冲层隙缝的MMI型光波导偏振分束器。全矢量有限元 度，三维FD．BPM优化设计了偏振分束器多模区长度和输入、输出波导位置。最终给 出基于缓冲层隙缝的MMI型光波导偏振分束器结构的优化参数。 第四章讨论了硅基MMI型光波导耦合器／偏振分束器的制备工艺和测试方法，搭建 了相应的测试系统。针对制备得到的硅基MMI型光波导耦合器／偏振分束器芯片进行了 实验测试与结果分析，实验结果与理论设计相一致。 第五章给出全文总结，提出下一步工作设想。 关键词：硅基二氧化硅波导；多模干涉；光波导耦合器；光波导偏振分束器；偏移激励； 缓冲层隙缝 Abstract With山e ofthe for deVelopmentopticalcommunication／sensingsystems，the requests the based become r． opticalwaVeguidecoupler／polarization be帅splitterincreasinglyhighe Siliconbasedmultimode and beam areof interl’erence(M]ⅥI)couplerpolarizationsplitter deVicesin their of import粕tpassiVe optical communicatio“sensing，foradvantageshigh fabricationand withCMOS thesisfocuses stabili劬compact，masscompatible process．This ontheSiliconbasedMMI beam aswelIasdemonstratesthe coupler／pol抓zation splitter theoreticaIand analysisexperimentaltesting． Inmesecond oftheoff§etexcitatjonatthe is