半导体硅片电阻率及硅7膜薄层电阻测定非接触涡流法.doc

PAGE 5 行业标准《改良西门子法多晶硅副产品 四氯化硅》 （讨论稿）编制说明 工作简况 立项目的及意义 目前国内生产多晶硅90%以上改良西门子法，副产大量四氯化硅，副产物的四氯化硅的生成有两个途径：一是在还原炉内每生成一吨多晶的同时约产生15~21吨四氯化硅；二是在合成过程中，每生成一吨多晶硅消耗20吨原料三氯氢硅，而在合成三氯氢硅的过程中，每得到1吨三氯氢硅副产0.15吨四氯化硅。尽管每生产1吨多晶同时生产18~24吨四氯化硅。大量的四氯化硅副产物若能进行综合有效的利用，其经济价值和环保价值相当可观。 虽然目前大部分多晶硅生产企业利用氢化还原技术内部消化一部分自产四氯化硅，但仍有较大富余。目前比较有前景的四氯化硅利用方式还有合成硅酸乙酯等有机硅产品、合成气相二氧化硅、提纯为光纤级四氯化硅、合成高纯度石英玻璃等利用方式。随着四氯化硅产业链的不断发展与延伸，其交易、流通越来越普遍，而目前行业内缺乏对多晶硅产四氯化硅缺乏统一的技术标准，各个企业均在使用良莠不齐的企业标准，为四氯化硅的市场流通造成很大的不便。 无论是四氯化硅生产制造企业还是使用企业，都强烈呼吁一项有效的国家标准来统一多晶硅副产物四氯化硅的技术指标、检验规则、包装要求、运输要求，以规范四氯化硅交易市场，因此多晶硅产四氯化硅产品标准的出台迫在眉睫。 任务来源 根据2015年9月16号《工