无尘室架构与运转管理.ppt

洁净室管理之建议基准 项目 洁净度等級 1 10 100 1000 10K 100K 衣服 维持管理 分发使用者 同一日 同一日 视需要 保管 宜保管在与使用洁净室同等級的洁净室等級 使用 一日 一周 一周 暂时保管 宜保管在与使用洁净室同等級的洁净室等級 清洗 洗涤 洗涤、干燥和包装，宜在比使用的洁净室等级更佳的洁净室进行 干燥 包裝 二重包裝 单层包裝 单层包裝 选定 连身式无尘衣,头肩罩,口罩,手套,长鞋套 同左 分离或大衣式无尘衣,头(发)罩,口罩,手套,(短)鞋套或布鞋 接受检查 必要 必要 视需要 洁净室管理之清扫频率 CLASS 100 CLASS 1,000 CLASS 10,000 地板 *真空除尘…每日交替 *纯水擦洗….每日 *清洁剂纯水擦洗..每周 *真空除尘…每日交替 *纯水擦洗….每日 *清洁剂纯水擦洗..每周 *真空除尘…每日交替 *纯水擦洗….每日 *清洁剂纯水擦洗..每周 壁 *清洁剂洗…..每月 *清洁剂洗…..每月 *清洁剂洗…..每月 天花板 *真空除尘…每月 *纯水擦洗….每月 *真空除尘…每月 *纯水擦洗….每月 *真空除尘…每月 *纯水擦洗….每月 窗 *纯水擦洗….每日 *清洁剂纯水擦洗..每月 *纯水擦洗….每日 *清洁剂纯水擦洗..每月 *纯水擦洗….每日 *清洁剂纯水擦洗..每月 作業面 *清洁剂纯水擦洗..每日 *清洁剂纯水擦洗..每日 *清洁剂纯水擦洗..每日 垃圾箱 *不可帶入 *每天倒掉 *每天倒掉 原物料及设备搬运流程 原物料及设备 去除外层包裝 初步外部清洁 移入电梯或移至制造楼层 原物料设备洁净室 去除外层包裝 清洁原物料或设备表面 移入制程区洁净室 CLEAM ROOM 內之注意事项 1.不要使气流的扰乱影响了Process，因此不得在作业区域上方放置物品进行作业。 2.不要做不用之动作，以免扰乱气流。 3.減少私人话语的交谈。 4.步行作业都会有发尘量，因此安静实行。 5.作业在干净的作业台或此上方进行，若有污染物，如掉至地板之物品請勿使用。 6. CLEAM ROOM 用衣服得长保持正确实穿衣服状态。 7.工具、器具、笔记用具类不要粗暴使用，以免发生污染物，不使用时，盖好笔盖或放置固定场所保管之。 * 空气洗涤室 风车滤网组 FFU 传递箱 正压释压风压 洁净室建筑构装材料 隔间墙：RC+油漆、硅酸钙板+油漆、库板。 天花板：矿纤板、库板、Ceiling grid。 地 板：PVC、环氧树脂、高架地板。 无尘室动线设计准则 进出无尘室动线规划准则 无尘室室内动线规划准则 无尘室测试验收项目 HEPA or ULPA 泄露检验。 清净度测试。 风速及风量检验。 噪音检验。 照度检验。 温度与湿度测试。 洁净室正压。 振动测试。 绝缘阻抗。 无尘室测试点标准 美国联邦 FED STD 209 标准 美国 IES-RP-CC-006-84-T 标准 美国联邦 FED STD 209 标准 * 层流无尘室测试点数： A = HEPA总面积 f t 2 除以25 B = HEPA总面积 f t 2 除以清净等级平方根。 A与B值间取最小值 * 乱流无尘室测试点数： N = 地板面积除以清净等级平方根。 美国IES-RP-CC-006-84-T 标准 无尘室面积在 15 m2 以下，测试 A 与 B 2点。 无尘室面积在 15 m2 以上，100 m2 以下，测试点为1,2,3,4,5 共5点。 无尘室面积超过 100 m2 ，除测试上述 5点外，每增加 100 m2 外加测 4点，或将全面积以 3X3 m2 为单位，分割成数区，每区测试 1点。 1 2 3 4 5 A B 无尘室清净度测试时间表 工程完工后，机台及人员尚未作业。 制造设备运转中，室內无作业人员。 制造设备运转中，室內作业人员在工作中。 无尘室运转管理 清净度管理 温湿度管理 室压控制管理 气流速度管理 人员教育管理 无尘衣著管理 节约能源管理 煤气分子 0.0001 0.001 0.01 0.3 1 10 100 1000 10000 滤过性病毒 不安定 空气杂质 香烟 0.1 细菌 射线 电子显微镜可见粒子 煤气分子 安定之空气杂质 可见光 红外线 飞灰 霜 雾 雨 酵母菌 头发 工业灰尘 灰尘 花粉 显微镜可见粒子 肉眼可见粒子 紫外线 以上之粒子高效率过滤器有99.99%之去除效率。 0.3um 大气中微尘分布及粒径大小比较图 尘埃(个/ f t 3) 0.5um以上 5um以上 10um以上 都 市 郊 外 6,000,000 40,000 6,000 都 市 內 10,000,000 100,000 10,000 工