传感器应用技术 教学课件 ppt 作者 王倢婷第四章4-2.pptVIP

第四章 位置传感器 第二节 数字式位移传感器 一、光栅式位移传感器 光栅式位移传感器主要用于长度和角度的精密测量以及数控系统的位置检测等，具有测量精度高、抗干扰能力强、适用于实现动态测量和自动测量等特点，在坐标测量仪和数控机床的伺服系统中有着广泛的应用。 1.光栅 （1）光栅的类型 光栅结构 一、光栅式位移传感器 光栅按其原理和用途可分为物理光栅和计量光栅。物理光栅主要用于光谱分析和光波波长等量的测量；计量光栅主要利用莫尔现象实现长度、角度、速度、加速度、震动等几何量的测量。 按其透射形式，光栅可分为透射式光栅和反射式光栅。 按其栅线形式，光栅可分为黑白光栅（幅值光栅）和闪耀光栅（相位光栅）。 按其应用类型，光栅可分为长光栅和圆光栅。 目前还发展了激光全息光栅和偏振光栅等新型光栅。 一、光栅式位移传感器 （2）莫尔条纹 计量光栅是利用莫尔现象实现几何量的测量。莫尔条纹的原理如图所示。除横向莫尔条纹外，还有光闸莫尔条纹。 莫尔条纹 一、光栅式位移传感器 （3）莫尔条纹的重要特性 1）平均效应 2）放大作用 3）对应关系 一、光栅式位移传感器 2.光栅式位移传感器的结构与工作原理 光栅式位移传感器是利用莫尔条纹将光栅栅距的变化转换成莫尔条纹的变化的，只要利用光电元件检测出莫尔条纹的变化次数，就可以计算出光栅尺移动的距离。光栅式位移传感器作为一个独立完整的测量系统，它