网路分析仪之校准与运用SSTT.doc

PAGE PAGE 1 網路分析儀之校準與運用(SSTT.NO.25) 許智威、楊士鋒 / 雙程科技應用工程師 近年來由於通訊市場的快速發展，市場上對射頻或高頻積體電路(RFIC)及高頻元件的需求量也隨之愈來愈大。不論實際應用上欲採取何種製程來生產較具優勢及競爭力，在晶圓(Wafer)上量出元件的特性都是不可或缺的。 欲量測信號頻率超過1GHz以上的晶圓元件，網路分析儀(Vector Network Analyzer，VNA)幾乎已成了不可或缺的測量工具。由於高頻晶圓量測所牽涉到的效應很多，想要獲取最好的晶圓量測數據，必需先要確實瞭解網路分析儀(VNA)的結構與工作原理及網路分析儀內不同元件 / 模組之間的交互作用。本文將就網路分析儀用於晶圓量測作一簡單介紹，並可作為讀者於此一領域做進一步研究的參考。 圖一是典型射頻晶圓元件(RF Device)特性分析量測系統的構置，左側為網路分析儀(VNA)，訊號由網路分析儀的測試埠連接到探針機台(Wafer Probe Station)上的兩個高頻探針(High Frequency Probe)。透過探針機台上方的顯微鏡或CCD擷取影像至右方的個人電腦(PC)，並且在PC的螢幕可看到探針與晶圓元件的接觸，此PC同時也用來執行探針機台的控制與校正及量測軟體。 [