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光学薄膜技术简介 光学薄膜的作用及回顾 光学薄膜在光学系统中的作用就是功能函数 光学薄膜发展的三个跃迁点: 1.真空的实现(1930) 2.激光的出现(1962) 3.光通讯技术的推动(1997) 光学薄膜从设计到制备过程 根据设计输入及经验确立膜系结构 使用设计软件并人为引导优化的方向进行设计 依据设备特点制定控制策略 测试制备结果 反演过程及调整控制策略 光学薄膜设计 矩阵法 麦克劳得导纳图解技术简介 设计中常用工具 ?光学厚度层 nd=1/4*λ0 ?光学厚度层 nd=1/2*λ0 布儒斯特效应 典型膜系介绍 增透膜 反射膜(镜) 分光(束)膜 滤光(分色)膜 负滤光膜 增透膜 Sub/L/Air, 拓宽加一层虚设层λ/2 Sub/2HL/Air, 减少主波段反射率,加一层中间折射率层 Sub/M2HL/Air, 用等效层替代中间折射率层 Sub/HLHL/Air 反射膜(镜) 金属反射膜,增强型金属反射膜 Sub/M/Air, Sub/M(LH) n/Air 光学薄膜中常用的金属材料:Al,Ag,Au,Cu,Ni-Cr 介质高反膜 Sub/(HL)nH/Air 或Sub/(LH)n/Air 分光(束)膜 平均能量分光 Sub/2HLHLH/Air 偏振分光(利用布儒斯特效应) 片型:Sub/(HL)n/Air, 棱镜型: Sub/(HL)n