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纳米三坐标测量机驱动与控制系统设计 摘要 轮等器件的几何量测量，不可或缺的工具。驱动与控制系统作为纳米三坐标测 量机一个重要的子系统，有特别要求，例如纳米尺寸的分辨率，低热效应，低 振动以及快速移动等等。 纳米三坐标测量机是一个复杂的设备，包括机械系统，精密的信号处理系 统，驱动系统，测头系统等。其中驱动与控制系统是一个综合性的系统，包含 机械平台，测头反馈装置，驱动设备等。 本论文介绍了纳米三坐标测量机驱动与控制系统的构建以及相关研究。本 系统中，基于DVD读取头的新型测头系统，被应用于三维测量以及定位。德 1 国PI公司生产的N．3O型压电线性电机作为纳米三坐标测量机的驱动电机。运 动平台按照特殊的原理设计，可以最大化的消除阿贝误差。激光回馈干涉仪是 一种新型的位移传感器，并且是首次用作位置测量装置。 本论文提出了新的驱动与控制策略，可以实现长距离纳米级精度的快速精 在任意方向上驱动完整个行程的时间不超过6分钟。目前，本系统可以实现对 不定距离的单方向的快速稳定的逼近，并有效防止过冲。研究表明，在N一310 电机的模拟模式下，不同位置点的定位波动可以被控制在士2nm左右。经过测 试，本系统可以胜任纳米三坐标测量机的驱动与控制任务。 关键词： 纳米三坐标测量机；压电直线电机；闭环反馈；驱动以及控制 The of andControl Driving System Design of Nano．CMM ABSTRACT Nano·Coordinate anecessary Measuring tooltomeasurethedimensionsofmicro-mechanicalasMEMS parts，such ■ } ofthe one parts，Micro—gear，etc．Thedrivingsystem，as importantparts ofthe some asNano-scale Nano—CMM，hasspecialrequirements，such 、 vibrationand resolution，lowheat，low highmovingspeed，etc． isa contains Nano—CMM system，which verycomplexmeasuring mechanical complex structures，precisesignalprocessing，probesystem and other andmodules． drivingsystem，andsubsystems Inthis constructionofa