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文件名 硅片包装规范标准 文件编号 QEO/NBYC/ZY-WP3-079-2010(A/0) 页码 PAGE 3/ NUMPAGES 3 2、原材料及产品质量指标 2.1、原料质量指标 名称 品种规格 消耗量吨/年 备注 氯气 氯%（体积）≥99.8 水和其它含氧杂质%（质量）≤0.015. 三氯化氮%（质量）≤0.002 不挥发的残余物%（质量）≤0.015 9573 符合GB-T-5138- 1966标准的优质品 氢气 1氢%（质量）≥99.997 2氧%（质量）≤0.003 3露点 -60 286 （原始氢4%，循环氢282） 2.2、产品质量指标 2.2 HCL含量：95~97% H2含量：3~5% 无游离氯（含量小于20ppm） 水分含量≤200ppm 2.2 HCL含量：≥95% H2含量：≤5% 氯硅烷含量：≤0.5% 2.3、技术经济指标 产能（按70%）：合成HCL-9859T/a 消耗CL2：9573T/a 消耗H2：286T/a（其中补充氢4T；循环氢282T） 3、工作原理 3.1 HCL、合成工艺原理 HCL的合成是采用氢气在氯气中不爆炸燃烧的条件下进行的方法来制备： 反应式：H2 + CL2 = HCL 反应的发生需要一定的前提条件，即提供一定的能量，在光照或加热的情况下，二者能迅速反应，释放出大量的热。 3.2 、工艺流程 3.2. 氯化氢合成是由三套相同的合成炉系统，氢气、氯气缓冲罐，事故排放接收设备组成（其中H2、CL2缓冲罐及事故排放装置为三套合成炉系统共用） 3.2. 外购液氯汽化后，到缓冲罐01V0701，经干燥后由管道输送至氯气缓冲罐V3-1.1.08。氢气来自制氢厂房及CDI装置，由管道输送至缓冲罐V5-1.1.10。 3.2. 为了吸收合成炉R1-1.1.01、R1-1.1.01/1、R1-1.1.01/2安全薄膜阀动作时的事故废气，以及合成炉开停车或不合格的废气，设置HCL吸收装置。系统由两台（一开一备）一级降膜吸收器D1-1.1.1.01、D1-1.1.1.02，一台二级降膜吸收器D1-1.1.1.03，HCL吸收塔T1-1.1.1.08，储罐容器V1-1.1.1.04、V1-1.1.1.05、V1-1.1.1.06、V1-1.1.1.07、V2-1.1.1.09、V2-1.1.1.10、收集罐V4-1.1.1.29和换热器E1-1.1.1.11，泵P1-1.1.1.21/22，P1-1.1.1.23/24，P2-1.1.1.25/26等组成，充分吸收HCL后，尾气经T1-1.1.1.08排空，制得20%以下的盐酸输送到三废车间处理，收集排放的废液被收集到设备V4-1.1.1.29，继而用0.5MPa的氮气压送到三废车间处理。 4、操作步骤 4.1 开车前的准备 4.1 4.1.2 4.1 4.1. 4.1. 4.1. 4.1. 4.1. 4.1. 4.1. 4.1 4.1. 4.1. 4.1. 4.1.5. 4.1. 4.1.5. 4.1. 4.1 气密性实验是为了保证阀门及法兰等的正确连接，无泄漏。 4.1 a）、用N2对氢站至合成工段H2缓冲罐的氢气管道充压至0.6MPa.G，对其管道焊接处、阀门和法兰的焊缝及连接处涂抹肥皂水进行检漏； b）、用N2对CDI返回至合成工段H2缓冲罐的氢气管道充压至0.6MPa.G，对其管道焊接处、阀门和法兰的焊缝及连接处涂抹肥皂水进行检漏； c）、用N2对合成工段H2缓冲罐至H2调节阀FV0202a前的氢气管道充压至0.6MPa.G，对其管道焊接处、阀门和法兰的焊缝及连接处涂抹肥皂水进行检漏； 4.1. 气密试验过程中，所有的管道、阀门、法兰的焊缝、连接处，都应该用涂抹肥皂水的办法，检查是否泄漏；系统充压完成后保压30分钟，压力不下降为合格。 a）、关闭HV0201a，打开HV0203a，向H2管道中通入氮气，气源压力0.6MPa.G，对其管道焊接处、阀门和法兰的焊缝及连接处涂抹肥皂水进行检漏。 b）、打开吹扫氢主管道H110102a03a-15-C2C c）、打开H2调节阀FV0202a及前后手阀，关闭HV0204a、HV0205a，向R1-1.1.01通入氮气，