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第7章 磁敏式传感器 磁敏式传感器的定义： 对磁场参量（B、Φ）敏感、通过磁电作用将被测量（如振动、位移、转速等）转换为电信号的器件或装置。 磁电作用：电磁感应、霍尔效应 分类：磁电感应式传感器 霍尔式传感器 7.1.1工作原理 　　　根据电磁感应定律， 当导体在稳恒均匀磁场中，沿垂直磁场方向运动时，导体内产生的感应电势。对于一个N匝线圈，设穿过线圈的磁通为Φ，则线圈内的感应电动势将与Φ的变化速率成正比，即： （1）恒磁通式传感器 测量误差 当传感器的工作温度发生变化或受到外界磁场干扰、受到机械振动或冲击时，其灵敏度将发生变化，从而产生测量误差，其相对误差为 1）非线性误差 主要原因：当磁电式传感器在进行测量时，传感器线圈会有电流流过，这时线圈会产生一定的交变磁通，此交变磁通会叠加在永久磁铁产生的传感器工作磁通上，导致气隙磁通变化。 这种影响分为两种情况 ①当传感器线圈相对磁场运动所产生的附加磁场与员工作磁场方向相反时，附加磁场将减弱工作磁场的作用，从而使传感器的灵敏度随检测速度的增而降低。即当传感器向上运动时，ΦI与Φ方向相反，减弱了工作磁场的作用，使传感器灵敏度降低。 ②当传感器线圈相对磁场运动所产生的附加磁场与原磁场方向相同时，传感器灵敏度增高。即当向下运动时， ΦI与Φ方向同向，增加了工作磁场的作用，灵敏度增大。 这两种情况将导致测量结果中出现非线性项，且速度越大，影响越明显。其结果是线圈的运动方向和速度大小都会使传感器的灵敏度具有不同的数值，使传感器的基波能量降低，谐波能量增加。结果：灵敏度越高，线圈中电流越大，非线性影响越严重。 补偿方法：加入补偿线圈。▲▲ 2）温度误差 3）动态特性 当被测物振动频率低于传感器的固有频率时，传感器的灵敏度是随振动频率的升高而明显增加的； 当振动频率远大于传感器固有频率时，传感器的灵敏度接近为一个常数，它基本上不随频率变化，即在这一频率范围内，传感器的输出电压与振动速度成正比关系，这一频段就是传感器的理想工作频段； 在振动频率更高（过大）的情况下，线圈阻抗增加，传感器灵敏度会随着振动频率的增加反而下降。 7.1.2 测量电路 7.1.3 磁电感应式传感器的应用 （1）磁电感应式振动速度传感器 （2）磁电感应式扭矩传感器 （3）电磁流量计 7.2 霍尔式传感器 当载流导体或半导体处于与电流相垂直的磁场中时，在其两端将产生电位差，这一现象被称为霍尔效应。 霍尔效应产生的电动势被称为霍尔电势。 霍尔效应的产生是由于运动电荷受磁场中洛伦兹力作用的结果。▲▲ 2.霍尔元件 （2）霍尔元件基本特性 线性特性与开关特性：线性特性是指霍尔元件的输出电动势UH分别和基本参数I、B成线性关系（磁通计中的传感器使用）。开关特性是指霍尔元件的输出电动势UH在一定区域随B增加而迅速增加的特性（直流无刷电动机的控制中使用）。 不等位电阻：表示未加磁场时，不等位电动势与相应电流的比值。产生原因：①霍尔电极安装位置不对称或不在同一等电位下；②半导体材料不均匀造成了电阻率不均匀或几何尺寸不均匀；③激励电极接触不良造成激励电流不均匀分配。 负载特性 温度特性 ：霍尔元件的温度特性包括霍尔电动势、灵敏度、输入阻抗和输出阻抗的温度特性，它们归结为霍尔系数和电阻率与温度的关系。 （3）霍尔元件的零位误差及补偿 不等位电动势的补偿▲▲ 2）霍尔元件的温度误差及其补偿 7.2.2 测量电路 7.2.3 霍尔式传感器的应用 1、微位移的测量 2、转速的测量 3、压力的测量 当温度上升T时，电路中个参数变化为： 则有 要使电路满足在温度变化前后，霍尔电动势U0不发生变化，即 则 ▲▲ 电源E提供激励电流，可变电阻RP用于调节激励电流I的大小，RL为输出霍尔电动势uH的负载电阻，一般用于表征显示仪表、记录装置或放大器的输入电阻。 * * 主要内容 7.1 磁电感应式传感器 7.2 霍尔式传感器 7.1 磁电感应式传感器 磁电感应式传感器又称磁电式传感器， 是利用导体和磁场发生相对运动而在导体两端输出感应电动势的原理将被测量（如振动、位移、转速等）转换成电信号的一种传感器。它不需要辅助电源， 就能把被测对象的机械能转换成易于测量的电信号，是一种有源传感器。 由于它输出功率大， 且性能稳定，具有一定的工作带宽（10～1000 Hz），所以得到普遍应用。 磁电感应式传感器电路简单、性能稳定、输出阻抗小，具有一定的频率响应范围（一般在10~1000Hz），适用于转速、振动、位移、扭矩等测量。 1.电磁感应 如果线圈相对于磁场的运动线速度为v或角速度ω，则 或 工作原理：磁路系