滤波正弦相位调制干涉测量技术误差分析.PDF

ar. 第 卷 第 期 ( ) 33 2 JournalofChon in NormalUniversit NaturalScience Vol.33 No.2 gq g y : / DOI10.11721cn q j 滤波正弦相位调制干涉测量技术误差分析* ,, , , , 123 12 3 12 12 , , , , 杨文韬 王立威 梁一平 肖立勇 韩文娟 ( , ; , ; 1.六盘水师范学院 物理与电子科学系 贵州 六盘水 553004 2.六盘水光机电工程中心 贵州 六盘水 553004 , ) 3.重庆师范大学 物理与电子工程学院 重庆 401331 : , 、 。 摘要 基于正弦相位调制干涉测量是当前国际前沿的高精度光学测量技术 在位移 形貌等测量中得到广泛应用 通常采 , , , 用傅里叶变换进行频谱分析提取相位参数 测量中需要处理庞大的数据 测量仪器难以快速获得测量结果 严重限制了正 。 , 。 弦相位调制干涉的使用范围 为了降低传统频谱分析处理信号的复杂性 采用了滤波技术处理相位信息 在数据处理时 , , , 直接采用低通滤波器滤除高次谐波成分 通过误差分析可知运用滤波技术处理干涉信号 公式本身引起的误差非常小 最 ; , , 。 大仅为0.9% 当调制频率波动为0.01Hz时 位移误差最大为0.1nm 误差可以忽略不计 : ; ; ; ; 关键词 测量 正弦相位调制 滤波 干涉 误差 中图分类号: ; 文献标志码: 文章编号: ( ) TN249 TH744.3 A 1672-6693201602-0159-07 [] 1