光化学汽相沉积中光激活物质的理论解析-光子学报.pdfVIP

光化学汽相沉积中光激活物质的理论解析-光子学报.pdf

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29 1 1. 29 . 1 V o N o 2000 1 A CT A PH OT ONI CA SINI CA J anu ar y 2000 李培咸 孙建诚 ( , 7 10071) ( E -m ail pli@ m ail . x idian . edu . cn) 基于光激活物质空间迁移长度的概念, 推导出方形反应空间中 达基片上单位面积 的光激活物质总数的解析表达式, 对光化学汽相沉积中淀积速率和基片位置的关系进行了模 拟和分析 . 模拟结果同实验结果符合良好. 光激活; 光化学汽相淀积; 迁移长度 0 1 , OEIC P IC , , , , . - . , P HOT O CV D ( ) , ; , , . CV D , , . ( L m ) , 1 2 3 L m , . . - , . PHOT O CV D CV D , 1 , , . 500 n n I ( ) 0, , U V I - 4, , d I 0ex p ( - d ) , PHOT O CV D PHOT O -CV D . . , = PHOT O -CV D , , n , n0 ex p ( - d) , n0 . , , 4 . , P HOT O -CV D , . 1 F ig . 1Diag ram f or React

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