等离子体沉积碳氟聚合物薄膜的纳米摩擦性能研究.PDFVIP

第 24 卷　第 4 期 摩 擦 学 学 报 24, 　 4 V o l N o 2004 年 7 月 TR IBOL O GY J u ly , 2004 等离子体沉积碳氟聚合物薄膜的纳米摩擦性能研究 鲍海飞, 熊　斌, 陆德仁, 李昕欣, 王跃林 ( 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 传感技术国家重点实验室, 上海　200050) 摘要: 利用原子力显微镜研究了感应等离子体刻蚀加工过程中单晶硅表面形成的不同厚度的碳氟聚合物薄膜的纳米 摩擦特性, 并针对几种不同的摩擦模式探讨了原子力显微镜探针在不同厚度的碳氟聚合物薄膜表面的摩擦行为. 结果