sensofar-新时代的测量利器neox new.ppt

* * * * * * 各方面的应用 -太陽能 各方面的应用 –LCD / 触控 各方面的应用 –封装 各方面的应用 –IC 相关 各方面的应用 –LENS 各方面的应用 –大尺寸拼接 / 大范围模拟 各方面的应用 –LED * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * ——新时代测量利器 SENSOFAR S-NEOX Sensofar表面轮廓仪 共聚焦显微镜 白光干涉仪 相位差干涉仪 史上首款三功能合一光学轮廓仪 Vertical Resolution vs Lateral Resolution Overview of Optical Surface Profilers Vertical Resolution vs Range Overview of Optical Surface Profilers 表面高度量测的演进 工具显微镜观测 切片观测 扫描电镜 2D接触式测量 3D光学非接触式轮廓仪 X : - um Y : - um Z : - um Sample 工具顯微鏡觀測 X : 0.00 um Y : 0.00 um Z : 0.00 um X : 0.00 um Y : 0.00 um Z : - 25.00 um 25 um 工具显微镜观测优点a. 容易操作b. 工具容易取得c. 人员教育简易缺点a. 人员差异大b. z轴精度較差 ( 约4um ) 切片观测  取样 切割 调胶 灌模 固化 卸模 粗磨 细磨 抛光 微蚀 观测 切片观测 优点a. 机器价格较低b. 样品种类不限缺点 a. 需人员判断高度b. 无法取得大量资料 c. 需破坏样品 扫描电镜 扫描电镜 优点a. 放大倍率大b. 细节清楚，无光学分辨率的限制缺点 a. 需人员判断尺寸，易产生误差b. 无法取得大量资料 c. 需破坏样品，样品一般较小 d. 如样品不导电需镀金 2D接触式测量  探头 2D 接触式测量 优点a. z方向精度高b. 操作简单 c. 量测范围大，速度快缺点 a. 水平方向受限于探头大小b. 只有2D图像 c. 样品表面会有刮痕 d. 软材质不易测量 3D光学非接触式测量  共聚焦方式 干涉模式 光源 Pinhole Objective Pinhole Fotodetector Sample z 共聚焦方式 支援Nikon全系列明场镜头 明场镜头 长工作距离镜头 超长工作距离镜头 高NA镜头 水镜 Optical Point Sensors (Confocal) Overview of Optical Surface Profilers Optical Imaging Sensors (Bright Field) Z=0 mm Z=-50 mm Z=50 mm Overview of Optical Surface Profilers 干涉原理及镜头 Michelson 1X – 5X 0.02 – 0.1 Mirau 10X – 100X 0.2 – 0.55 Linnik 100X – 200X 0.7 - 0.9 干涉方式 - 白光干涉 不同波长干涉产生的Beats 白光组合众多波长最后产生的Beat 干涉方式 - 相位差干涉 44 nm 相位差干涉可以量测非常小的高度差以及粗糙度( 200nm)，在环境好的情形，甚至可以拥有0.1nm的粗糙度分辨率 3D 非接触式光学测量 优点a. z方向精度高b. 操作简单 c. 可以3D成像 d. 不破坏物体表面 e. 可以计算表面粗糙度 f. 大气中即可量测缺点 a. 水平方受限于光学解析极限 b. 虽然图型可以拼接，但大范围全检仍无法做到  Sensofar表面轮廓仪的优势 相位差干涉 / 白光干涉 / 共聚焦比较 50 nm 阶高 相位差干涉 with 50X DI 白光干涉 with 50X DI 共聚焦with 50X 0.8NA Sensofar表面轮廓仪的优势 相位差干涉 / 白光干涉 / 共聚焦比较 共聚焦50X 0.8NA，可以成功测量 白光干涉 50X DI，可以测量但因为镜头支援的斜率较小，所以边缘杂讯大 相位差干涉无法测量高低差大的样品 非球面镜量测 Sensofar表面轮廓仪的优势 在樣品上要找一個一個大約1.4mm，深度約0.5um的孔是非常困難的，深寬比才 1/2800，只有干涉才容易尋找並進行測量 共聚焦 vs 干涉 　 共聚焦 干涉 　 强项 弱项 强项 弱项 物镜放大倍