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全光譜反射式膜厚量測儀操作程序
一開機程序.
1. 打開24V 直流開關
2. 打開工業電腦
3. 打開電源供應器調整至( 4V)
4. 打開光譜儀電源開關
5. 打開電腦螢幕 ，打開SR-SEMI軟體
二.點選模式，切換至工程模式
將滑鼠點選螢幕左上角 MODE 進入 Engineer Mode
此時按鍵盤Ctrl鍵按著不放游標點選”OK”就進入測試模式畫
面 。
三. 放 sample 於載台上同時打開 ”對焦板” 。
四.點選量測膜厚檔案
1.點選 File中的 open
2.開啟 product 與job 中已經設定的 recipe
五量測
1.點選 spectrometer中 Background ，此時background 與
reference都會自動到達定位並進行量測
2.點選 Hardware中 move to 選擇量測點位
點選 sample 上待量測點位 (紅色點) ，選擇完後點選OK 鍵，
XYZ軸會自動行至點選座標
3.點選 Hardware中 focus ，進入focus 選單再點選Auto
Focus 功能
4.設定膜厚 →設定欲成長膜厚，在螢幕左上角 Thickness(Å)
空白處輸入膜厚，輸入數值後點選OK 。
5. 游標再點選 spectrometer中 measurement 進行量測
六.完成測試
測試結束後再 Hard ware 底下點選 Unload sample即可取回
sample ，離開前須將電源供應器電源歸零。
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