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X射线荧光光谱仪 波长色散X射线荧光光谱仪 简介 分类—— 扫描型谱仪 多元素同时分析仪（多道谱仪） 图4 扫描型谱仪 图5 多元素同时分析谱仪 X射线荧光光谱仪 波长色散X射线荧光光谱仪 仪器组成 图6 波长色散型谱仪原理图示 X射线荧光光谱仪 波长色散X射线荧光光谱仪 仪器组成 激发系统 分光系统 探测系统 仪器控制和 数据处理系统 发出一次 X射线， 激发样品 对来自样 品元素特 征X射线 进行分辨 对样品元素的特征X射线进行强度探测 处理探测 器信号， 给出分析结果 X射线荧光光谱仪 波长色散X射线荧光光谱仪 仪器组成 （1）激发系统：X射线发生器、X射线管和热交换器等部件组成。 （2）分光系统：分光晶体、限制光栏、准直器和衰减器等。 （3）探测系统：探测高压、探测器、次级准直器和相关电子学线路等组成。 （4）仪器控制及数据处理系统 X射线荧光光谱仪 波长色散X射线荧光光谱仪 X射线发生器 给X射线提供高压和电流并保持电压和电流稳定的装置，是仪器的一项重要指标。 一般X射线发生器最大输出功率有3kW或4kW。与之相配的最大额定电压为60～100 kV，最大额定电流为80～160 mA。 X射线荧光光谱仪 波长色散X射线荧光光谱仪 X射线管 根据X射线出口窗的位置，X射线管分为侧窗型(side window tube，SWT)和端窗型(end window tube，EWT)。 图7 侧窗型X射线管 图8 端窗型X射线管 X射线荧光光谱仪 波长色散X射线荧光光谱仪 X射线管 X射线管辐射的X射线强度和电子轰击靶面的入射角和X射线的出射角、Be窗的厚度、Be窗和靶面的距离以及Be窗和样品的距离有关 透射靶X射线管：窗口与阳极靶零距离，提高激发效率，应用于低功率波长色散谱仪。 图9 阳极元素在铍窗上的沉积 X射线荧光光谱仪 波长色散X射线荧光光谱仪 热交换器 阳极靶的冷却作用 端窗型X射线管：电导率很低的去离子水 侧窗型X射线管：普通水 X射线荧光光谱仪 波长色散X射线荧光光谱仪 准直器 图10 准直器 X射线荧光光谱仪 波长色散X射线荧光光谱仪 准直器 一级准直器 二级准直器 在样品和晶体之间（该准直器又称为入射狭缝） 作用：是将样品发射出的X射线荧光通过准直器变为平行光束照射到晶体 在分光晶体之后（又称为出射狭缝） 作用：是将晶体分光后的光束变为平行光束进入探测器 X射线荧光光谱仪 波长色散X射线荧光光谱仪 分光晶体 一种单色器，相当于光学发射光谱中的分光单元棱镜或光栅，把来自样品各元素的特征谱线按照布拉格衍射原理进行分光，被测元素在特定的布拉格角被探测。 X射线荧光光谱仪 波长色散X射线荧光光谱仪 分光晶体 选择：衍射强度大 分辨率高 峰背比高 温度效应小 合适的波长范围 X射线荧光光谱仪 波长色散X射线荧光光谱仪 不同波长的荧光X射线必须选择与其匹配的分光晶体 X射线荧光光谱仪 波长色散X射线荧光光谱仪 分光晶体 分类：平面晶体：结构简单，扫描型谱仪 曲面晶体：衍射强度和分辨率较高 多层晶体：常用于长波段轻元素或 超轻元素分析 X射线荧光光谱仪 波长色散X射线荧光光谱仪 探测器 一种变化能量形式的装置 把X射线光子信号转换成可计量测定的电脉冲信号 X射线荧光光谱仪 波长色散X射线荧光光谱仪 探测器 分类： 充气型正比计数器 闪烁计数器 气流型正比计数器 封闭型正比计数器 PC（gas Proportional Counter） FPC（gas Flow Proportional Counter） SPC（Sealed Proportional Counter） SC（Scitillation Counter） X射线荧光光谱仪 波长色散X射线荧光光谱仪 探测器 充气型正比计数器常用来对长波和超长波X射线探测，尤其是气流型正比计数器有较高的能量分辨率并对轻元素有较高的技术效率 闪烁计数器常用于探测较高原子序数的元素，探测波长相对较短。 X射线荧光光谱仪 波长色散X射线荧光光谱仪 测角仪 测角仪是按照分光几何学的要求，驱动或配置与分析元素相匹配的分光晶体及探测器等的精密机械装置。 多道同时分析型谱仪，由于元素分析线已确定，分光晶体、狭缝及探测器的相对位置固定；