三章节电容式传感器.pptVIP

第三章 电容式传感器 ;第一节 电容式传感器的工作原理和结构; 当被测参数变化使得上式中的A、 d或ε发生变化时， 电容量C也随之变化。如果保持其中两个参数不变，而仅改变其中一个参数， 就可把该参数的变化转换为电容量的变化，通过测量电路就可转换为电量输出。因此，电容式传感器可分为变极距型、 变面积型和变介电常数型三种。;1、变极距型电容传感器 ;电容量与极板间距离之间的关系 ; 由C0式可以看出，在d0较小时，对于同样的Δd变化所引起的ΔC可以增大，从而使传???器灵敏度提高。但d0过小，容易引起电容器击穿或短路。为此，极板间可采用高介电常数的材料（云母、 塑料膜等）作介质, 此时电容C变为 ; 云母片的相对介电常数是空气的7倍，其击穿电压不小于1000 kV/mm，而空气仅为3 kV/mm。因此有了云母片，极板间起始距离可大大减小。同时，上式中的dg/ε0εg项是恒定值， 它能使传感器的输出特性的线性度得到改善。  一般变极板间距离电容式传感器的起始电容在20~100pF之间， 极板间距离在25~200μm 的范围内。最大位移应小于间距的1/10， 故在微位移测量中应用最广。 ;2、变面积型电容传感器;(2) 角位移型;3、变介质型电容式传感器;(2) 并联柱面结构;电容增量正比于被测液位高度h。;(3) 并联平面板结构;二、差动式电容传感器;（2）圆柱面结构直线位移型;（3）平面扇形变面积角位移结构;2、变极距型差动电容传感器;三、电容传感器输出特性;在Δd/d01时, 按级数展开得 ;电容值相对变化量为 ;非差动型平行板电容传感器可知， 电容的相对变化量为 ; 由上式可见，输出电容的相对变化量ΔC/C0与输入位移Δd之间成非线性关系，当|Δd/d0|1时可略去高次项，得到近似的线性关系， 如下式所示： ;如果考虑（1）式中的线性项与二次项， 则 ;四、电容传感器等效电路; 由等效电路可知， 它有一个谐振频率，通常为几十兆赫。 当工作频率等于或接近谐振频率时，谐振频率破坏了电容的正常作用。因此，工作频率应该选择低于谐振频率，否则电容传感器不能正常工作。  传感元件的有效电容Ce可由下式求得(为了计算方便，忽略Rs和Rp): ;在这种情况下，电容的实际相对变化量为 ;第二节 误差的因素及改进措施 ;、温度对电容器结构尺寸的影响;设初始温度为 时，电容传感器工作极片与固定极片间隙及初始电容为：;则 ;整理得： ;经整理得 ： ;二、寄生电容与分布电容的影响; （2）注意传感器的接地和屏蔽； （3）集成化:将传感器与测量电路本身或其前置级装在一个壳体内，省去传感器的电缆引线。 （4）采用“驱动电缆”(双层屏蔽等位传输)技术:传感器与测量电路前置级间的引线为双屏蔽层电缆. （5）整体屏蔽法:将电容式传感器和所采用的转换电路、传输电缆等用同一个屏蔽壳屏蔽起来，正确选取接地点可减小寄生电容的影响和防止外界的干扰。;三、外界干扰的影响; 2、增加原始电容值，以降低容抗，减小被干扰电容淹没的危险。 3、减小导线间的分布电容的静电感应，因此导线与导线之间远离，距离尽可能短，最好成直角排列，必须平行排列时可采用屏蔽电缆线。 4、减少接地点，尽可能一点接地，地线要用较粗的良导体或宽印制线。 5、尽量采用差动式电容传感器，可提高传感器灵敏度，减小非线性误差。 ;四、温度对介质的介电常数的影响;五、漏电阻的影响;第三节 电容式传感器的测量电路;一、调频电路;调频振荡器的振荡频率为;当被测信号不为0时，ΔC≠0， 振荡器频率有相应变化， 此时频率为 ;二、运算放大器式电路;如果传感器是一只平板电容，则Cx=εA/d，代入上式可得 ;三、二极管双T型交流电桥; 是高频电源， 它提供了幅值为U的对称方波，D1、D2为特性完全相同的两只二极管，固定电阻R1=R2=R，C1、C2为传感器的两个差动电容。 ; 若传感器输入不为0，则C1≠C2, I1≠I2, 此时在一个周期内通过RL上的平均电流不为零， 因此产生输出电压，输出电压在一个周期内平均值为 ;当RL已知，且令; 可知，输出电压Uo不仅与电源电压幅值和频率有关，而且与T形网络中的电容C1和C2的差值有关。当电源电压确定后，输出电压Uo是电容C1和C2的函数。该电路输出电压较高，当电源频率为1.3 MHz，电源电压U=46V时，电容在-7~7 pF变化，可以在1MΩ负载上得到-5~5V的直流输出电压。电路的灵敏度与电源电压幅值和频率有关，故输入电源要求稳定。 当U幅值较高，使二极管VD1、VD2工作在线性区域时，测量的非