磁滞与摩擦力考虑的奈米定位.pdf

磁滯與摩擦力考慮的奈米定位 文／馮榮豐、楊竣翔、韓長富 摘要 基於壓電致動器的使用 ，使精密定位的能力可從微米級降至奈米級，在如此精密的尺寸下， 磁滯現象與摩擦力的非線性行為，對於系統的影響不可輕視。本文主要討論，具奈米定位能力的 衝擊力驅動機構(IDM) ，當考慮磁滯與摩擦力的行為時 ，對於定位精度造成的影響。 一、 前言 因具有微小位移的可控制性、機械與電氣間高效率 的轉換特性、高頻響應特性、低消耗功率、不易發 奈米定位技術被視為支援奈米技術的重要關 熱、不會產生電磁信號之干擾、響應速度快速、體 鍵技術，而一般傳統伺服機構，很難達到如此高精 積小與重量輕等優點，使其廣泛地被應用在精密平 密的定位精度。幸賴諸如壓電材料、