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电化学微纳加工分辨率的影响因素及对策.pdfVIP

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  • 2019-08-04 发布于天津
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电化学微纳加工分辨率的影响因素及对策.pdf

    第卷第期物理化学学报一年月通讯电化学微纳加工分辨率的影响因素及对策祖延兵谢雷罗瑾毛秉伟田昭武固体表面物理化学国家重点实验室厦门大学化学系厦门关扭词徽纳加工扫描电化学显微镜约束刻蚀剂层技术硅微纳加工技术对纳米科学及各类微系统的研究和发展具有十分重要的意义近年来以扫描隧道显微镜为代表的多种扫描探针显微术用于微纳加工的研究受到广泛关注其中于电化理的扫描电化显的用既现了化技简易于控的基学原学微镜应体电学术便制特点又具有湿法刻蚀的化学选择性显示了电化学方法在微纳加工领域的潜能然而技术的刻蚀分辨率受刻蚀样品

    第 卷 第 期 物 理 化 学 学 报 〕 , 一

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