粗糙度对金属金属非反应性润湿体系润湿性能的-西北有色金属研究院.PDFVIP

第46 卷 第5 期 稀有金属材料与工程 Vol.46, No.5 2017 年 5 月 RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERING May 2017 粗糙度对金属/金属非反应性 润湿体系润湿性能的影响 1 2 1 1 吴 茂 ，常玲玲 ，何新波 ，曲选辉 (1. 北京科技大学 新材料技术研究院，北京 100083) (2. 中国科学院微电子研究所，北京 100029) 摘 要：采用真空座滴法研究了高温下基体粗糙度对金属/ 金属非反应性润湿体系润湿性能的影响，所选材料体系为