原子与分子物理专业导师简介.doc

学科教学（物理）专业导师简介 （以姓氏拼音为序） 陈浩，男，教授，教育硕士导师。从学校开始招收教育硕士起，每届都指导1到2名的教育硕士，主要指导学生研究中学物理教学的问题。主研方向为理论物理，包括非线性物理、量子场论和凝聚态物理等前沿领域以及理论物理的教学研究。共发表论文30多篇，其中被SCI收录9篇。 陈俊芳，男，教授，教育硕士导师。主要从事低温等离子体产生和诊断技术及其应用的研究工作。应用低温等离子体技术制备纳米 SnO2气敏功能薄膜，用于二氧化氮、一氧化碳和氢气等有害易爆气体检测中；采用PECVD合成技术制备了氮化硅纳米超细粉体材料；在低沉积温度下（360℃左右）利用ECR-PECVD技术制备了具有发光效应的纳米晶态结构的氮化硅薄膜材料，并将这一材料应用于超高频大功率浅结晶体管的钝化膜中；开展了低温等离子体干法刻蚀技术的研究，对Ⅲ-Ⅳ族元素和硅器件及氧化硅进行了干法刻蚀研究；还利用ECR-PEMOCVD技术制备了晶态结构的GaN发光薄膜材料。“低温等离子体诊断技术及PECVD制备薄膜材料的应用”获得广东省科学技术三等奖（第一完成人）。近年来，指导博士研究生3人，一人已获得博士学位，指导硕士研究生16人，8人获得硕士学位。主持过国家自然科学基金、教育部高等学校博士学科点专项科研基金、广东省科技计划项目、广东省自然科学基金和