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直接测量式CEMS结构介绍 辐射光源 一个良好的光源要求具备发光强度高、光亮稳定、光谱范围广和使用寿命长等特点。常用的紫外光源有汞灯、紫外线金属卤化物灯 、氙灯 、氘灯 。 直接测量式CEMS结构介绍 辐射光源 汞灯：汞灯的光谱主要是原子的线状光谱，光谱的连续性很差，一般用作波长校准、非分光紫外光度分析等。 紫外线金属卤化物灯：辐射大多数是金属原子光谱的特征谱线。 氙灯：氙灯在200～400nm的紫外区域有连续的紫外辐射。这是因为氙在高气压下的放电不是靠电子的碰撞激发，而是靠高温电弧的热激发和正负离子的复合发光。而且当灯电流和氙气压在很大范围内变化时，其氙灯光谱分布几乎是不变的。氙灯不仅可以连续工作，而且可以脉冲工作。 氘灯：氘灯是辐射190～500nm波长的连续紫外光源。它与氢灯相比具有紫外线强度高、稳定性好、寿命长等优点。 综合以上的紫外光源，如氙灯、氘灯等具有连续光谱的紫外光源是紫外分光光谱仪的理想光源。尤其是脉冲氙灯，其脉冲式工作模式更是让其在寿命上遥遥领先。 直接测量式CEMS结构介绍 光谱仪 光谱仪主要作用就是分光，将包含多种波长的复合光以波长进行分解，然后从探测器上得出以波长为坐标排列的不同波长的光强分布。 光谱仪按分光原理及分光元件的类别可以分为干涉光谱仪、棱镜光谱仪和光栅光谱仪等。干涉光谱仪采用干涉原理进行分光，具有杂散光低、光能利用率高等优点，但是光路设计复杂。而采用色散分光的光谱仪系统结构相对简单，一般都包括入射狭缝、准直镜、色散元件、聚焦光学系统和探测器。 直接测量式CEMS结构介绍 光谱仪 常用的分光元件有棱镜和光栅两类。 棱镜是利用不同波长的光有不同的折射率而使复合光分开的光学元件。有立特鲁棱镜，考纽棱镜等。其中紫外光区一般使用石英棱镜。 棱镜分光示意图 直接测量式CEMS结构介绍 光谱仪 光栅是利用光的衍射和干涉作用使复合光色散。其特点是色散波长范围宽、具有良好而均匀一致的分辨能力、色散近于线性。根据光是否穿透光栅可分为反射光栅、透射光栅；根据光栅的分光面不同，可分为平面光栅、凹面光栅等。 光栅分光示意图 直接测量式CEMS结构介绍 探测器 光电探测器是根据量子效应，诸如产生由于吸收的光子的电子，将所接收到的光信息转变成电信息的元件。其灵敏度本质上随光子能量辐射线的波长而变化。在紫外分光光谱分析中常用的探测器一般为线阵探测器，有PDA、CCD、CMOS、NMOS等。 如CCD，即为光电二极管阵列，有多个在硅片上形成的反向偏置的PN结构成，当受到光照射时，产生空穴和电子，空穴扩散通过过渡层到P区，然后湮灭，由此引起电子空穴对的产生与复合，使得导电性增强，其大小与光强成正比。当阵列受光照时，吸收光子产生电子空穴对，阵列中的每个光电二极管各自有一个积贮光电流的存储电容器，通过扫描电路，周期地顺序读取各个存储电容中存储的电荷，达到检测出CCD上相应的光信息 。 直接测量式CEMS结构介绍 2.机械结构 机械结构部分包括插入式气体采样管、二极管阵列探测器的线性检测及本底测量装置的机械驱动。考虑到烟道中温度很高，而且有SO2等腐蚀性很强的污染气体，所以气体通道包括测量槽及有关配件均采用不锈钢、透紫外光的石英玻璃材料制作，气体通道上的光学元件和密封元件均耐高温耐腐蚀。 直接测量式CEMS结构介绍 3.电子学测量和控制系统 直接测量式CEMS结构介绍 4.吹扫保护系统 吹扫保护系统由空气净化装置、吹扫风机、管路、信号检测等部分组成。空气（也有采用压缩空气作为吹扫保护气的）经过净化装置过滤后，被风机加速，通过管路送入测量探头内，保护镜片不被烟气污染。信号检测装置实时监测风机的工作状态，在风机跳闸停运时，提供报警信号提示维护人员进行必要的处理 。 直接测量式CEMS结构介绍 工作过程 利用气态污染物对特定波段的光具有吸收特性，选择波段在200nm~320nm的紫外光作光源，在此波段内水分子和其它气体几乎没有吸收。入射光被污染物吸收后，经光栅分光，由高灵敏二级管阵列探测器测量吸收光谱，并由此经计算机利用反演算法得到污染物的种类和含量。 直接测量式CEMS结构介绍 工作过程 紫外光源发出的宽带光谱经石英聚光透镜后通过光分束器，再由反射镜反射到准直透镜，通过前窗镜照射到探头后端的角反射镜上，探头窗镜上装有透光波段200nm~250nm的紫外滤光片。角反射镜反射光按原光路返回到光分束器上，然后经过准直透镜照射到光谱仪的入射狭缝上，通过光栅色散形成光谱。CCD探测器将光信号转变为电信号，