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第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报
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利用 法测定 薄膜的 组分
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延凤平 简水生 尾形健一 小池一步 佐佐诚彦 井上正崇 矢野满明
!）（北京交通大学光波技术研究所，北京 !%%% ）
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（ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿）
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利用电感耦合等离子体（ ）装置对分子束外延（ ）法在 衬底上生长的 薄膜的 组分
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进行了测试 经理论分析，得到使用 次和 次检量式所确定的 薄膜中的 组分的差异 将采用 次
J ! H5 *= 6 *= J !
! I ! !
检量式的 测定与 测定结果进行对照，表明当 组分 时二者的测试结果相当一致，由此证明
84E FE*K *= ! % LC 84E
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