三维量测系统之研制.pptVIP

三維量測系統之研製 指導教授：朱志良 研究生：黃雅君 班級：碩奈米二甲 學號：m99r0207 大綱 前言 一維雷射聚焦感測器 二維影像量測 光路設計與實際架設 實驗測試 未來計畫 結論 前言(1/2) 優點 缺點 接觸式 沒有傾斜與對焦的問題 不適合軟薄及微型工件 不易受環境的影響 探頭半徑需補正 不易受反射率的影響 磨耗損壞 接觸力的控制 非接觸式 適合軟薄及微型工件 易受環境的影響 不需探頭半徑補正 易受反射率的影響 不會磨耗損害 傾斜與對焦的問題 無接觸力的問題 前言(2/2) 市售光碟機內的讀取頭，其內含光學元件、現成的光路設計 、高敏感度、高解析度與聚焦特性，很適合應用在光學量測方面，加上成本低廉，使近年幾年利用CD 、DVD讀取頭作為量測應用的研究不斷。 隨著科技進步WebCam網路攝影機的解析度、放大倍率、影像擷取速度都不斷提升，故有許多學者陸續提出影像分析之研究。 因此本研究應用DVD光學讀取頭作為感測儀器，並結合WebCam網路攝影機研製一套具雷射聚焦探頭與二維影像量測功能的三維量測系統。 一維雷射聚焦感測器量測原理 (1/2) 用光碟機內讀取頭光路基礎，作為一自由度量測探頭原理。 上圖為光學讀取頭的內部結構。 DVD 光學讀取頭 一維雷射聚焦感測器量測原理 (2/2) 量測原理像散法 四象限感測器之訊號處理與S-曲線 * 二維影像量測系統(1/2) Web camera 二維影像測量系統的硬體包括鏡頭，感測器和影像處理卡;軟體包括量測程式。 影像產生流程是先由鏡頭光源聚焦在CMOS感測器，即時訊號由影像處理卡校正和壓縮到電腦轉換為數位訊號然後經由程式加以量測。 將網絡攝影機拆解安裝自行設計加工後的圓筒而成新的鏡頭，並固定之即完成。 二維影像量測原理示意圖(2/2) 數位化影像相對於螢幕座標示意圖 影像經數位化後，透過影像處理卡，從電腦上所得到的影像資料乃是一個個像素所組成的資料群，而每個像素都有所代表特定的座標，並對應於被攝物表面的某一點。 * 光路設計與實驗架設(1/2) 光路設計與實驗架設(2/2) 整體尺寸大小為55mm(長)*55mm(寬)*60mm(高) * 實驗測試-二維影像測量(1/3) 校正片 標準片實際量測(999.963μm) 解析度校正像素統計 1000/4110μm=0.2433μm * 圓準確度量測 圓量測計算統計 誤差值=0.07 μm 實驗測試-二維影像測量(2/3) 角度準確度量測 角度量測計算統計 誤差值=0.12度 實驗測試-二維影像測量(3/3) * 實驗測試- 微流道測量(1/2) 微影製程量測試片 白光干涉儀量測微流道 : 高低差距= 12.5μm 寬度= 197.87μm. 本系統量測微流道 : 寛度=198.045 μm 與白光比較後誤差為0.175 μm 實驗測試- 微流道測量(2/2) 本系統量測微流道之結果 : 高低差距=12.41 μm 與白光比較後誤差為0.09 μm Y=0.000000181X + 6.223062 Y=0.000000377X + 6.189289 * 結論 本研究利用雷射聚焦探頭結合影二維像量測系統完成一套低成本、奈米級的三維測量系統。 雷射聚焦探頭是由市售光碟機內DVD讀取頭，改良製作成一具有奈米級的位移感測器，其精度為45nm。 二維影像測量系統是使用CCD攝影機與顯微物鏡而成，搭配Visual Basic程式介面撰寫完成的量測軟體，即可量測微小待測物的表面情況，其解析度為0.234 μm。 Thank you for your attention! * OK-此三維測量的光學設計系統是由雷射聚焦探頭和二維影像測量結合，包括DVD光學讀取頭，PBS，物鏡，NPBS，LED，成像透鏡，CCD攝影機。 * * * * * * OK-此三維測量的光學設計系統是由雷射聚焦探頭和二維影像測量結合，包括DVD光學讀取頭，PBS，物鏡，NPBS，LED，成像透鏡，CCD攝影機。 * * * * *