技术性能与指标1大真空蒸镀设备性能参数蒸发源配置8个.docVIP

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2019-08-04 发布于天津
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一技术性能与指标大真空蒸镀设备性能参数蒸发源配置个有机源个金属源三组可两两共蒸真空系统前级泵爱德华或者安捷伦品牌机械泵抽速高真空泵品牌进口分子泵如布鲁克斯抽速极限真空度膜厚控制系统蒸发源温度或电流控制蒸发速率显示精度蒸发速率控制精度蒸发速率稳定性膜厚均匀性衬底尺寸软件性能整个实验过程由计算机自动化控制专业控制软件小真空蒸镀设备性能参数蒸发源配置个有机源个金属源一组可两两共蒸真空系统前级泵抽速高真空泵品牌分子泵抽速极限真空度膜厚控制系统蒸发源温度控制精度蒸发速率控制精度膜厚均匀性衬底尺寸专业控制与

一、技术性能与指标： 1、大真空蒸镀设备性能参数 ① 蒸发源配置： 8个有机源+2个金属源，三组可两两共蒸 ② 真空系统：前级泵：爱德华或者安捷伦品牌机械泵，抽速 12 m3/h；高真空泵：品牌进口分子泵如Osaka，布鲁克斯，TURBO，抽速 560 L/s 极限真空度：9×10-7mbar ③ 膜厚控制系统：蒸发源温度或电流控制蒸发速率显示精度：≥ 0.1 ?/s 蒸发速率控制精度：≥0.1 ?/s 蒸发速率稳定性：≤5 % 膜厚均匀性：≤ 5% ④ 衬底尺寸：150×150 mm ⑤ 软件性能：整个实验过程由计算机自动化控制,inficon专业控制软件。 2