化学气相沉积炉-中国有色金属标准质量信息网.doc

PAGE PAGE 5 《化学气相沉积炉》行业标准编制说明 一、工作简况 1.1. 任务来源 根据国家有色行业标委会 [2013]19号文件要求，正式下达了《化学气相沉积炉》标准起草工作。2013年8月5日，有色行业标委会 [2013]27号文件转发2013年第一批有色金属国家、行业标准制（修）订项目计划，由湖南顶立科技有限公司负责起草《化学气相沉积炉》，项目计划编号为2013-0382T-YS。2014年3月14日，中色标所字[2014]8号《关于召开有色金属标准编写研讨暨培训会》，对编制行业标准人员进行了资质培训，再次确认《化学气相沉积炉》编写工作。按计划要求，本标准应于2014年完成。 用于金属及金属合金材料、金属复合材料的化学气相沉积炉系列，因无相应的国家标准、行业标准和地方标准可作产品标准执行，且金属及金属合金材料、金属复合材料行业的客户对化学气相沉积的设备性能需求无统一尺度衡量。湖南顶立科技有限公司根据多年来所生产的化学气相沉积炉的实际应用情况，结合金属及金属合金材料、金属复合材料行业的需求情况，对化学气相沉积炉的系统组成、性能特点进行了总结，并将总结形成《化学气相沉积炉》标准 1.2. 起草单位情况 湖南顶立科技有限公司是一家专业从事新材料、新能源高端热工装备研究开发、生产制造的“国家级火炬计划高新技术企业”，是“湖南省新型热工装备工程技术研究中心” 的依托单位，被评为 “湖南省企业技术中心”。公司与国防科大、中南大学、湖南大学、南昌大学及国内相关院所等院校和科研机构建立了密切的合作关系。公司共聘请国内知名科研院校的各类专家教授 33 人为公司的顾问团队，为公司的快速发展提供了强有力的支持，特别在碳/碳化硅、铁铜基粉末冶金、硬质合金、金属复合材料以及先进真空热处理等领域的快速发展发挥了重要作用。申请和授权中国专利 105 项， 产品获中国有色金属工业科技进步二等奖 2 项，湖南省科技进步三等奖 2 项，全国工商联科技进步优秀奖 1 项。并且一批成果已经实现产业化。 1.3. 主要工作过程和工作内容 从《化学气相沉积炉》标准项目申报开始，湖南顶立科技有限公司组织专人进行了相关资料的收集和总结工作。接到标准编写任务后，，组建了《化学气相沉积炉》行业标准起草小组，标准起草小组成员包括市场技术人员、研发技术人员、材料与设备专家等，并制定了标准起草原则、任务分工和标准制定计划。 市场技术人员负责对市场、技术、生产、使用厂家进行调研、收集资料；研发技术人员负责查询相关标准并确定产品主要技术内容；材料与设备专家负责对整体资料进行审阅，并提出指导性的实施意见，共同完成标准编写。 2014年7月，由全国有色金属标准化技术委员会主持，在汕头召开了本标准的讨论会，来自全国有色金属标准化技术委员会、宁夏东方钽业股份有限公司、西安宝德粉末冶金有限责任公司、深圳市天骄科技开发有限公司、钢铁研究总院、株洲硬质合金集团有限公司、国家钨材料工程技术中心、西北有色金属研究院、济宁市无界科技有限公司、四川自贡硬质合金有限责任公司、中信国安盟固立科技有限公司、广东邦普循环科技有限公司等12家单位的13名专家对本标准的讨论稿进行了认真、细致地讨论，提出了修改意见和建议。编制小组根据讨论会的意见，形成了标准意见汇总处理表和标准预审稿。 二、标准的制定原则和确定标准主要内容的论据 2.1标准编写原则 本标准根据GB/T1.1-2000和GB/T1.2-2002《标准化工作导则》的规定编写； 充分满足市场要求的原则； 划繁就简的原则； 有利于创新发展的原则。 2.2标准的主要内容与论据 2.2.1 统一型号： 目前化学气相沉积炉属于非标产品，没有统一的分类、型号和基本参数。湖南顶立科技有限公司根据多年的工作积累，现根据结构形式将化学气相沉积炉分为卧式化学气相沉积炉和立式化学气相沉积炉2种类型，按炉型及有效工作区尺寸分为13种型号，见表1和表2。 表1 卧式化学气相沉积炉的基本参数 型号 工作区域尺寸 宽×高×长/mm 承载重量 kg 额定加热功率 kW 额定炉温 ℃ HCVD-060609 600×600×900 300 210 1500 HCVD-080812 800×800×1200 800 360 HCVD-101015 1000×1000×1500 1500 480 HCVD-121225 1200×1200×2500 2500 600 HCVD-151530 1500×1500×3000 5000 900 HCVD-202040 2000×2000×4000 10000 1200 HCVD-252550 2500×2500×5000 20000 1800 表2 立式化学气相沉积炉的基本参数 型号 工作区域尺寸 直径×高/mm 承载重量