电磁驱动器与矩形静压空气止推轴承混合支承工作台的设计与实现.pdfVIP

电磁驱动器与矩形静压空气止推轴承混合支承工作台的设计与实现.pdf

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电电磁磁驱驱动动器器与与矩矩形形静静压压空空气气止止推推轴轴承承混混合合支支承承工工作作台台的的设设计计与与实实现现 毛军红 and 李 川 Citation: 科学通报 53, 2251 (2008); doi: 10.1360/csb2008-53-18-2251 View online: htt :///doi/10.1360/csb2008-53-18-2251 View Table of Contents: htt :/// ublisher/sc /journal/CSB/53/18 Publishe

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