Vacuum机台专用名词.pptVIP

Exhaust system units 真空概念机台专有名词导读 Air knife：长片状出气孔的喷 气除屑装置 Ashing：光阻去除 Angstrom： Alignment：对准 ADI：显影后检查 EDI：蚀刻后检查 a-Si：非晶硅 Actone：丙酮 Air shower：空气洗尘室 Assembly：晶粒封装 Acceleration electrodes 加速电极 Aging 老化 Alloy 合金 Alumina 铝土 Aluminum Flow 热流铝 Aluminum Plug 铝插塞 Amorphous Silicon 非晶硅 Anneal 回火 Argon 氩气 Argon instability 氩气抽气不稳定性 Array 阵列 A 0 Backing Pump 辅抽泵 Barrier layer 阻障层 Base Pressure 基准压力 Binder 粘合剂 Buffer Agent 缓冲剂 Barrier layer：阻障层 Brass：黄铜管，用来提供设备的真空度，CDA，厂务氮气的非制程直接使用气体的传输 BDG：保持剂，溶解PR防止PR再附着，因强碱性的MEA有机溶剂较难将剥离的PR溶解，因此需加入保持剂 Breakdown voltage：崩溃电压 B.O.E. ：缓冲蚀刻液 Burn In：预烧