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透射电镜（TEM） 王海波 2010.11.6 主要内容 TEM发展概述 TEM的结构和成像原理 TEM的样品制备 TEM的应用 光学显微镜的极限 德国理论光学家E Abbe于1918年指出限制光镜分辨率的原理是光的衍射行为，并提出显微镜分辨率与照明波长的关系式： 。δ为恰能分辨两个物点的距离；λ为照明波长。 光学显微镜的极限分辨率为200nm 电磁波长要比可见光波长小105，采用短的电磁波波长是提高显微镜分辨率的极为有效的途径。 TEM发展概述 1924年，法国科学家德布罗意（De Brogli）提出物质波理论： 如果高速运动运动的粒子是电子： 由上述两式可得 TEM发展概述 1926年德国科学家Garbor和Busch发现用铁壳封闭的铜线圈对电子流能折射聚焦，既可作为电子束的透镜。 1932年德国科学家Ruska和Knoll在前面两个发现的基础上研制出第一台TEM TEM发展概述 我国电镜研制起步较迟，1958年在长春中国科学院光学精密机械研究所生产了第一台中型电镜，到1977年生产的TEM分辨率为0.3nm，放大倍率为80万倍。 TEM的结构和成像原理 电子光学系统 （主体） 真空