TEM进展及发展趋势.pptVIP

主要内容 TEM发展概述 TEM的最新发展 TEM的发展趋势 TEM的发展概述 TEM的最新发展 功能完善 超高压TEM分辨本领高—在原子水平上直接观察厚试样三维结构；试样穿透能力强(1MV时约为100kV的3倍) ；JEM-ARM 1250／1000型超高压原子分辨率电镜点分辨本领已达0.1nm；日立公司3MV超高压透射电镜分辨本领为0.14nm； 中等电压200kV\300kVTEM：采用球差系数更小的物镜和场发射电子枪；穿透能力分别为100kV的1.6和2.2倍；国际上常规200kV TEM的点分辨本领为0.2nm左右，放大倍数约为50倍～150万倍； TEM的发展趋势 1 提高分辨本领 改进仪器性能降低物镜的球差 提高物镜电流和高压的稳定度以减少色差。 常规的透射电镜的球差系数Cs和色差系数Cc分别约为mm级，德国科学家利用计算机技术实现了对磁透镜进行球差矫正，可以实现零球差，以及负球差，从而大大提高了透射电镜的空间分辨本领，通过在电子束照明光源上加装单色仪，可以大大提高电镜的能量分辨率，目前的最高点分辨率得到大大提高，可以达到亚埃级别(1?)。 2 提高自动化程度，简化操作真空操作 样品更换及驱动，照相记录，电镜工作模式变换等复杂的工作均只需要一个启动命令就能自动完成，尤其是引入电子计算机之后，使操作进一步自动化，而且还可以对图像或谱线