薄膜物理与技术测验考试重点.docxVIP

真空环境的划分：①低真空（ 102Pa）；②中真空（102 —10-1Pa）；③高真空（10-1—10-5Pa）；④超高真空（ 10-5Pa） 真空蒸发沉积：高真空和超高真空（10-3 Pa） 溅射沉积：中、高真空（10-2—10Pa） 低压化学气相沉积：中、低真空（10—100Pa） 电子显微分析：高真空 材料表面分析：超高真空 为了获得高真空蒸发系统，通常采用旋片式机械泵和涡轮分子泵两级真空泵联用，其中与真空室直接相连的是涡轮分子泵。 真空泵的原理和适用范围： 旋片式机械真空泵（输运式真空泵）：依靠安置在偏心转子中的可以滑进滑出的旋片将气体隔离、压缩，然后排出泵体之外。 10-1Pa 涡轮分子泵（输运式真空泵）：高速旋转的叶片将动量传给气体分子，并使其向特定方向运动。 10-8—1Pa 溅射离子泵（捕获式真空泵）：高压下电离的气体分子撞击Ti阴极，溅射出大量活性很高的Ti原子，以吸附或化学反应的形式捕获大量气体分子。 10-8—10-5Pa 真空规测量气压的范围： 热偶真空规和皮拉尼真空规（相对真空计） 10-2—102Pa 电离真空规（相对真空计） 10-7—10-2Pa 薄膜真空规（绝对真空计） 10-3—105Pa 气体流动状态的划分：（克努森准数，D是气体容器的尺寸，是平均自由程）①分子流状态（Kn1）；②过渡