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图是一个单元组体中构成石英晶体的硅离子和氧离子在垂直于轴的平面上的投影等效为一个正六边形排列图中代表硅离子代表氧离子第章压电式传感器本章主要内容了解正逆压电效应的定义了解石英晶体和压电陶瓷的压电效应及其特点掌握压电传感器的测量电路分析电压前置放大器和电荷前置放大器的区别和特点了解压电传感器的应用重点和难点压电传感器的测量电路电压电荷前置放大器的区别和特点本章主要内容及重点难点压电效应压电效应及其可逆性正压电效应压电材料受力变形在表面产生电荷逆压电效应压电材料通电后压电材料发生变形逆压电效应电能机
图6-4是一个单元组体中构成石英晶体的硅离子和氧离子,在垂直于z轴的xy平面上的投影,等效为一个正六边形排列。 图中“+”代表硅离子Si4+, “-”代表氧离子O2-。 第6章 压电式传感器 本章主要内容 1、了解正、逆压电效应的定义; 2、了解石英晶体和压电陶瓷的压电效应及其特点; 3、掌握压电传感器的测量电路,分析电压前置放大器和电荷前置放大器的区别和特点; 4、了解压电传感器的应用。 重点和难点:压电传感器的测量电路,电压电荷前置放大器的区别和特点。 本 章 主 要 内 容 及 重 点 难 点 6.1 压电效应 6.1.1 压电效应及其可逆性 正压电效应:压电材料受力变形,在表面产生电荷。 逆压电效应:压电材料通电后,压电材料发生变形。 逆压电效应 电能 机械能 正压电效应 纵轴Z称为中心轴(又叫光轴); 通过六棱线而垂直于光轴的X轴称为电轴; 与X轴和Z轴垂直的Y轴 (垂直于六棱柱体的棱面)称为机械轴。 6.1.2 石英晶体的压电效应 通常把沿电轴(X轴)方向的作用力产生的压电效应称为“纵向压电效应”,把沿机械轴(Y轴)方向的作用力产生的压电效应称为“横向压电效应”,沿光轴(Z轴)方向的作用力不产生压电效应。沿相对两棱加力时,则产生切向效应。压电式传感器主要是利用纵向压电效应。 石英晶体具有压电效应,是由其内部分子结构决定的。 图6-4 硅氧离子的排列示意图 (a) x y (b) + x y + + - - - (a) Fx=0 x y + P1 P2 P3 - - + + - P1+P2+P3 = 0 (b) Fx0 x + Fx y + - Fx - P1 P2 P3 - - + + - + + + - - (c) Fx0 y x + + + Fx Fx P2 P3 P1 + + + - - + - - - - (P1+P2+P3)x 0 (P1+P2+P3)y = 0 (P1+P2+P3)z = 0 (P1+P2+P3)x 0 (P1+P2+P3)y = 0 (P1+P2+P3)z = 0 图6-5 石英晶体受力方向与电荷极性关系 + + + + + (a) Fx x - - - - - Fx (b) x + + + + + - - - - - x Fy (c) + + + + + - - - - - Fy (d) x + + + + + - - - - - (a) y x z O x b z y a c (b) dij ---在j方向受力,在i方向产生电荷的压电系数 沿电轴x方向施加应力σx,则在与x轴垂直的平面上,产生的单位面积电荷为 与x轴垂直的平面上产生的总电荷为: 若在同一切片上,沿机械轴y方向施加应力σy,则仍在与x轴垂直的平面上单位面积产生电荷: 根据石英晶体轴对称条件:d11 = -d12,则: 晶片厚度 x b z y a c (b) 晶片长度 结 论: ① 当晶片受到x方向的压力作用时,产生电荷量只与作用力Fx成正比,与晶片的几何尺寸无关; ② 沿机械轴y方向向晶片施加压力时,产生的电荷是与几何尺寸有关的; ③ 石英晶体不是在任何方向都存在压电效应的; ④ 晶体在哪个方向上有正压电效应,则在此方向上一定存在逆压电效应; ⑤ 无论是正或逆压电效应,其作用力与电荷之间皆呈线性关系。 在几百摄氏度的温度范围内,石英晶体的介电常数和压电系数几乎不随温度而变化。但是当温度升高到573℃时,石英晶体将完全丧去压电特性,这就是它的居里点。 石英晶体的突出优点是性能非常稳定,它有很大的机械强度和稳定的机械性能。但石英材料价格昂贵,因此一般仅用于标准仪器或要求较高的传感器中。 压电陶瓷由无数细微的电畴组成,极化前,这些电畴是自发极化的,方向呈任意排列,所以整体上并无压电效应。施加高压电场后,各微单元电畴趋向一致,这种极化现象在电场去掉后被部分保留了下来。当压电陶瓷受外力作用时,电畴的界限发生移动,致使其呈现压电效应。 6.1.3 压电陶瓷的压电效应 (a) 未极化; (b) 电极化 对于压电陶瓷,通常取它的极化方向为z轴,垂直于z轴的平面上任何直线都可作为x或y轴,这是和石英晶体的不同
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