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非接触测量——间接测量 激光干涉测角 激光干涉过程中光程的变化能够引起干涉条纹明暗交替的变化 光程变化实现角度测量 高精度角度测量 非接触测量——间接测量 激光干涉小角度测量 激光器 分光镜 参考镜 反射镜 角锥棱镜 非接触测量——间接测量 激光干涉小角度测量 激光器 光电元件I 光电元件II α H R 正弦臂 非接触测量——间接测量 激光楔形平板干涉测角 激光器 分光镜 反射镜 角锥棱镜 角锥棱镜 楔形平板 光电探测器 光电探测器 ? 非接触测量——间接测量 环形激光器角度测量 基于萨克纳克（Sagnac）效应 将同一光源发出的一束光分解为两束，让它们在同一个环路内沿相反方向传输，当环路以一定角速度旋转时，这两束光之间将产生一个与旋转角速度成正比的相位差 非接触测量——间接测量 环形激光器角度测量 测量原理 接收器 棱镜 半透半反镜 激光器 反射镜 反射镜 谐振腔 环形激光器 激光器谐振条件：谐振腔总长度L必须等于波长λ的整数倍。 环形激光器 环形激光器 非接触测量——间接测量 环形激光器角度测量 环形激光器 工作台 第三节 圆分度误差的测量 圆分度误差的评定指标 圆分度误差的测量方法 度盘圆分度误差的测量 多面棱体圆分度误差的测量 齿轮齿距误差的测量 圆分度误差的评定指标 圆分度误差 度盘上每条分度刻线都有一个理论位置（由圆周封闭原则决定），其与实际位置之间的偏差就称为圆分度误差 圆分度误差的评定指标 零起分度误差 以零刻线的实际位置为基准，确定其它刻线的理论位置，并由此求出的刻线分度误差 圆分度误差的评定指标 分度间隔误差（齿距误差） 度盘上相邻两刻线之间的角距离称为间隔，实际间隔角度值φi,i+1与理论间隔角度值φ0之差即为分度间隔误差。 圆分度误差的评定指标 分度间隔误差（齿距误差） 最大分度间隔误差（齿距累积误差） 任意两刻线组成的间隔称为任意间隔。 任意间隔的最大误差 圆分度误差的评定指标 直径误差 度盘的分度精度不再以单个刻线误差作指标，而以度盘对径位置上两刻线分度误差的平均值作指标，该平均值即为直径误差。 圆分度误差的测量方法 度盘分度误差的测量 光电式度盘检测仪工作原理 圆分度误差的测量方法 度盘分度误差的测量 度盘刻度 零起直径误差 直径 误差 直径间隔误差 0° 0 -0.2 -0.2 15° -0.2 -0.4 +0.3 30° +0.1 -0.1 -0.35 45° -0.25 -0.45 +0.3 60° +0.05 -0.15 +0.1 75° +0.15 -0.05 +0.05 度盘 刻度 零起直径误差 直径 误差 直径间隔误差 90° +0.2 0 +0.2 105° +0.4 +0.2 +0.4 120° +0.8 +0.6 +0.05 135° +0.85 +0.65 -0.55 150° +0.3 +0.1 -0.3 165° 0 -0.2 0 圆分度误差的测量方法 多面棱体圆分度误差的测量 常角法进行相对测量 ：测量过程中使用一个与待测角度间隔相应的基准角度相比较，得到各分度间隔相对于基准角度的间隔偏差，利用圆周自然基准求出各分度间隔的间隔偏差。 圆分度误差的测量方法 齿轮齿距误差的测量 齿距误差Δfpt ：指在分度圆上，实际齿距与公称齿距之差 。 齿距累积误差ΔFp：指在分度圆上，任意两个同侧齿面间的实际弧长与公称弧长的最大差值 测量方法：相对测量、绝对测量 圆分度误差的测量方法 通用测角仪器绝对法测量齿轮的齿距误差 理论齿距角累积值： i×360°/z 实际齿距角累积值： Σαi 齿距角偏差累积值： ΔαΣi 齿距偏差累积值： 圆分度误差的测量方法 通用测角仪器绝对法测量齿轮的齿距误差 齿序 i 理论齿距角 累积值 i×360°/z 实测齿距角 累积值 Σαi 齿距角偏差 累积值 ΔαΣi 齿距误差累积值 ΔFpi/μm 齿距偏差 Δfpti/μm 0 0° 0° 0′ 0 ? 1 36° 36°1′ 1′ 2.62 2.62 2 72° 72°2′ 2′ 5.24 2.62 3 108° 108°3′ 3′ 7.85 2.61 4 144° 144°4 ′ 4 ′ 10.47 2.62 5 180° 180°1′ 1′ 2.62 -7.85 6 216° 216°0′ 0′ 0 -2.62 7 252° 251°58′ -2′ -5.24 -5.24 8 288° 287°57′ -3′ -7.85 -2.61 9 324° 323°59′ -1′ -2.62 5.23 齿距累积误差：ΔFp=max(ΔFpi)-min(ΔFpi) =10