水熱合成法-舟窪研究室.pdfVIP

水熱合成法 水熱合成法 ○ 水、温度および圧力が関与することで無機材料を合成する手法 ○ 水、温度および圧力が関与することで無機材料を合成する手法 天然結晶の成長条件に最も近い →単結晶の合成に適している 単結晶の合成例:) その他にも、 様々な機能性材料を加え ルビー、サファイヤ、エメラルドなど の宝石類も合成可能!! 水晶（用途：水晶振動子） これはオートクレーブ（耐圧容器）と加熱機で実現可能 →複雑な操作（微調整など）や大きな装置（真空装置など）はいらない!! すなわち、容易な操作で材料合成を可能です。 すなわち、容易な操作で材料合成を可能です。 水熱合成法を用いた非鉛圧電膜作製の利点 水熱合成法を用いた非鉛圧電膜作製の利点 ○低温プロセス ○低温プロセス ○ポリマー基板上に製膜可能 溶液法溶液法溶液法溶液法 →新たな応用分野の創成 スパッタスパッタスパッタスパッタスパッタスパッタ 水熱水熱水熱水熱 ADADADAD ○省エネルギー CVDCVDCVDCVDCVDCVD 焼結法焼結法焼結法 0000 200200200200 400400400400 600600600600 800800800800 1000100010001000 非鉛圧電体の開発 Fig.1 成膜プロセス温度の成膜手法での比較 →環境問題に対応 ○高い結晶性を有した厚膜 ○高い結晶性を有した厚膜 現在までに130mの膜厚を持った膜の 製膜に成功（本分野では最高値） ↓基板から剥離させる（確認済） ○単結晶状シートの低コスト作製手法の提案 Fig.2 成膜モデル図 →様々な場所や基板へ貼付けて利用 環境問題に配慮しつつ、水熱合成法の特有の性質を生かす →ユニークな環境低付加合成プロセスとして今後に期待できます。 ユニークな環境低付加合成プロセス