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- 2019-08-04 发布于湖北
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江西天能电力股份有限公司
文件名称：156多晶硅片绒面制备工艺
文件编号：
版本：TNSC-01:
编制部门：技术部
生效日期：
页数：
1.标题
156mm*156mm多晶硅片绒面制备和清洗甩干工艺。
2.目的
2.1清洗多晶硅片表面油污和损伤层、氧化层的去除。
2.2在多晶硅片表面制备一个反射率较低的织构表面。
3.适用范围
适用于无锡市瑞能科技有限公司DUZQJ-9000型多晶硅制绒清洗机及QSJ-03型清洗甩干机。
多晶硅片绒面制备(硅片型号：156mm*156mm)
4.定义
多晶硅在去清洗腐蚀后，目视硅片表面呈均匀的灰黑色，没有明显的斑点，多晶晶界不明显。显微镜下，绒面形貌均匀，硅片表面无明显台阶。
5.职责
5.1所有操作人员都必须严格按照本文件进行操作；
5.2在操作过程中遇到问题应及时向相关技术人员反应，相关技术员及时提供帮助。
6.内容
6.1插片
6.1.1
合格的多晶硅片
6.1.
片架（小花蓝）
清洗花篮
美工刀
6.1.
6.1.3.1
6.1.3.2准备好片架、
6.1.3.3
6.1.3.4
6.1.3.5
6.1.
6.1.3.7
6.1.3.8将片架放入清洗花篮中每个清洗花篮中放置3×4个插片后的片架。
6.1.3.8
1.每个片架最多可以插片25片。插片过程中对硅片进行检验，不合格硅片挑出。每装100片硅片需要更换一次手套，如
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