7.3 光栅CCD光纤传感器.pptVIP

7.3 光栅传感器 莫尔条纹形成的原理 莫尔条纹技术的特点 （1）调整夹角即可得到很大的莫尔条纹的宽度，起到了放大作用，又提高了测量精度。 （2）莫尔条纹的光强度变化近似正弦变化，便于将电信号作进一步细分，即采用“倍频技术”。这样可以提高测量精度或可以采用较粗的光栅。 （3）光电元件对于光栅刻线的误差起到了平均作用。刻线的局部误差和周期误差对于精度没有直接的影响。因此可得到比光栅本身的刻线精度高的测量精度。这是用光栅测量和普通标尺测量的主要差别。 光栅位移传感器 线性位移传感器。根据主光栅尺与指示光栅之间的相对运动产生莫尔条纹移动，通过计算莫尔条纹数测量位移，精度高，用于自控机床及作长度减量标准。 7.4 电荷耦合器件 在MOS电容金属电极上，加以脉冲电压，排斥掉半导体衬底内的多数载流子，形成“势阱”的运动，进而达到信号电荷（少数载流子）的转移。 图像传感器：转移的信号电荷是由光线照射产生； 若所转移的电荷通过外界诸如方式得到，则其可以具备延时、信号处理、数据存储以及逻辑运算等功能。 7.4.2 CCD图像传感器 利用CCD的光电转移和电荷转移的双重功能，得到幅度与各光生电荷包成正比的电脉冲序列，从而将照射在CCD上的光学图像转移成了电信号“图像”。 由于CCD能实现低噪声的电荷转移，并且所有光生电荷都通过一个输出电路检测，且具有良好的—致性，因此，对图像的传感具有优越的性能。 线列和面阵 7．4．3 图像传感器的应用 1．尺寸测量 2． 用于光学文字识别装置 图像传感器 是一种能进行光电转换存储信息及转换信息电荷功能的特殊半导体器件，用于传真、图像扫描及光特性识别工业自动检测等多个领域。特别适用于精密图像传感和无接触工件尺寸的在线检测。 指纹传感器 具有指纹录入，图像处理，模板生成和指纹比对等功能。它采集速度快，图像质量高，稳定性好。广泛的用于电子政务，金融行业，远程登录等领域，类似银行的柜员管理，医保、社保系统以及与卡结合的应用系统。 索尼的感光元件 7.5 光纤传感器 7.5.1 光导纤维的结构和导光原理 圆柱形内芯和包层组成，而且内芯的折射率略大于包层的折射率 斯乃尔定理 光纤导光 光纤传感器的分类 光纤在传感器中的作用 光受被测量调制的形式 光纤传感器中对光信号的检测方法不同 (1) 光纤的传感器中的作用 功能型 非功能型 拾光型 (a) 功能型（全光纤型）光纤传感器 光纤在其中不仅是导光媒质，而且也是敏感元件，光在光纤内受被测量调制。优点：结构紧凑、灵敏度高。 缺点：须用特殊光纤，成本高， 典型例子：光纤陀螺、光纤水听器等。 (b) 非功能型（或称传光型）光纤传感器 光纤在其中仅起导光作用，光照在光纤型敏感元件上受被测量调制。 优点：无需特殊光纤及其他特殊技术， 比较容易实现，成本低。 缺点：灵敏度较低。 实用化的大都是非功能型的光纤传感器。 (c) 拾光型光纤传感器 用光纤作为探头，接收由被测对象辐射的光或被其反射、散射的光。 典型例子： 光纤激光多普勒速度计 辐射式光纤温度传感器 (2) 根据光受被测对象的调制形式 (a) 强度调制型光纤传感器 (b) 偏振调制光纤传感器 (c) 频率调制光纤传感器 (d) 相位调制传感器 (a)强度调制型光纤传感器 利用被测对象的变化引起敏感元件参数的变化，而导致光强度变化来实现敏感测量的传感器。 应用：压力、振动、位移、气体 优点: 结构简单、容易实现、成本低。 缺点: 易受光源波动和连接器损耗变化等的影响 （b）偏振调制光纤传感器 利用光的偏振态的变化来传递被测对象信息 应用： 电流、磁场传感器：法拉第效应； 电场、电压传感器：泡尔效应； 压力、振动或声传感器：光弹效应； 温度、压力、振动传感器：双折射性 优点：可避免光源强度变化的影响，灵敏度高。 （c）频率调制光纤传感器 被测对象引起的光频率的变化来进行监测 利用运动物体反射光和散射光的多普勒效应的光纤速度、流速、振动、压力、加速度传感器； 利用物质受强光照射时的喇曼散射构成的测量气体浓度或监测大气污染的气体传感器； 利用光致发光的温度传感器等。 （d）相位调制传感器 被测对象导致光的相位变化，然后用干涉仪来检测这种相位变化而得到被测对象的信息。 利用光弹效应的声、压力或振动传感器； 利用磁致伸缩效应的电流、磁场传感器； 利用电致伸缩的电场、电压传感器 利用Sagnac效应的旋转角速度传感器（光纤陀螺） 优点：灵敏度很高， 缺点：特殊光纤及高精度检测系统，成本高。 4.4.5 光纤传感器的特点 （1）电绝缘。 （2）抗电