第4章 MEMS微传感器的工作原理(第2部分).pptVIP

电流流过U形导线时会在两条导线之间产生排斥力。类似地，在一条置于磁场中的柔性金属线上通以电流，导线会发生偏转。 磁致伸缩执行器 磁致伸缩效应： 1840年焦耳发现，当给镍棒加一个轴向磁场时，它会收缩。 在外加磁场的作用下，材料的磁畴按外磁场进行排列，从而引起材料尺寸的变化。 外加磁场导致坡莫合金区域产生磁性极化，这反过来又和外加磁场作用，结果导致执行器重新定位，直到它与磁场对准。该器件可用于斩波、扫描、光束导向等微光学场合。 外加磁场的磁执行器 铁镍合金 线圈 导管 硅 外部驱动微机械电磁阀 该阀由一个NiFe溅射阀座和一个可开启、关闭的可移动NiFe阀膜组成。依靠活动膜片上支撑弹簧的内力，可以制成常开或常闭阀。微机械阀元件放置于携带有流体的管道中，管道的外面是由外加线圈形成的磁场，构成了一种电隔离操作。 外加磁场的电磁阀 电磁式微执行器实例(7) 电磁光开关 电磁式微执行器实例(8) 电磁场 光纤 MEMS驱动器 电磁驱动光纤开关原理示意图 加州理工学院设计的一种电磁驱动光纤开关的原理示意图。当开关处于开状态时，电磁驱动器带着双面微镜向上运动，将微镜置于光纤之间，每个输入光纤的光信号经反射后从相邻的输出光纤输出，如图a所示；在关状态，微镜在光纤之下，输入光纤的信号直接从正前方的输出光纤输出，如图b所示。 电磁式微执行器实例(9) 磁马达 可变磁阻的微磁马达，它带有全集成的定子和线圈。定子由集成的电磁体制成，转子由软磁性材料制成。马达有两组显磁极，一组在定子上，一组在转子上。 当激励相位线圈时，靠近激励定子电极的转子磁极会吸引到定子磁极（如图a、b所示）。由于定子旋转，定子磁极将与转子磁极对准。关断激励相位线圈的电流，下一个相位开始激励使之连续运动。 双稳态磁开关 静电执行器需要恒定的电压偏置来保持开关在开或关的状态，比较容易受供电中断的影响。开关的双稳态锁定很重要，因为它只有在开关的转变过程中才消耗掉功率，但无论在开或关的状态都不需要电来保持。 电磁式微执行器实例(10) 双稳态磁开关结构:由扭转支柱将悬臂提升在衬底表面的上方。悬臂由顶部上的软铁磁材料和底部上的一层高电导率的金属构成。平面线圈埋置于悬臂的下方。偏置磁场有两个来源：一个是平面线圈，一个是永久磁体。永久磁体位于衬底的表面，用于提供恒定的背景磁场。 该开关的独特设计在于：双向磁化可以通过使用第二个磁场很快反转。这使得可以施加小电流来实现力矩和开关位置的转换。为了实现这一目标，在悬臂梁和外部磁场之间使用了平面线圈以产生磁场来补偿外部磁体产生的磁场。永久磁体使悬臂保持在开或关的位置直到下次开关动作出现。 微执行器的致动方式 (4)压电执行器 逆压电效应：在压电材料两端施加一定的电压，材料会表现出一定的形变（伸长或缩短）。 ?V的典型值在10-10~10-7cm/N之间变化。因此，要获得微米量级的位移，常常需要超过1000V的电压，除非使用叠加的执行器或放大机械运动的器件。 压电致动微型泵 日本东北大学研制的压电堆致动微泵如图所示。该微泵依靠致动器推动薄膜变形，引起腔体内压强的变化，驱动单向阀工作，使气、液体定向流动。压电堆的轴向变形和驱动力都比较大，最大流量为40?L/min，最高背压为1mH2O。 压电式微执行器实例(1) 德国Ilmenau技术大学研制的压电致动硅微无阀泵，其最大流量为7.5mL/min，最大背压为2.8kPa。 压电式微执行器实例(2) 压电式微执行器实例(3) 压电扫描隧道显微镜探针 压电扫描隧道显微镜探针的运动模式为 如图所示将一片晶体安装在微执行器的一根弹性硅梁上。在压电晶体上加电压使其产生形变，引起弹性硅梁的弯曲。压电晶体致动器在微定位机构和微型夹具等方面都有应用。 压电式微执行器实例(4) 微执行器的致动方式 (5)形状记忆合金执行器 有些材料在受热时，其长度能发生很显著的变化（收缩），将它们总称为形状记忆合金（SMA），其中最著名的是钛镍合金。 SMA效应源于合金马氏体（主要为三角晶系）和奥氏体（高度均匀）晶相之间与温度有关的相变。 现象：受到机械力作用而产生变形的合金，一旦受热就会恢复到它们未变形前的状态。 加热方式：通电流 在预置温度T时弯曲的合金片依附在硅悬臂梁上。室温时梁是直的。当把梁和附于其上的合金片加热到温度T时，合金的“记忆”被唤醒并试图恢复原来的弯曲形状。合金的弯曲迫使悬臂梁一起变形，由此达到致动效果。这种方式的致动被广泛用在微型旋转致动器、微型关节和机器人、以及微弹簧上。 优点：相对的“线性”控制和很高的应力（大于200MPa），如果应变保持在2℅以下，就可以工作几百万个循环。 缺点：需要特殊的合金和很高的功耗。 多晶硅 二氧化硅 C