课件：光纤光栅压力传感器.pptVIP

可编辑 可编辑 * 姓名： 潘金全 学号： 1434041006 题目：光纤光栅压力传感器 光子信息技术 1. 压力传感器 在现代工业生产过程中，压力是进行测量和控制的最基本参数之一。 力学传感器的种类繁多，如电阻应变片压力传感器、半导体应变片压力传感器、压阻式压力传感器、电感式压力传感器、电容式压力传感器、谐振式压力传感器及电容式加速度传感器等。 电容式压力传感器 电感式压力传感器 压阻式压力传感器 工程上常用的几种压力传感器 1.液柱式压力计 液柱式压力计是以流体静力学原理来测量压力的。它们一般采用水银或水为工作液，用U型管或单管进行测量，常用于低压、负压或压力差的测量。 2.弹性式压力表 弹性式压力表是以弹性元件受压后所产生的弹性变形作为测量基础的。它结构简单、价格低廉，现场使用和维修都很方便，又有较宽的压力测量范围，因此在工程中获得了非常广泛的应用。 3.压阻式压力传感器 压阻式压力传感器的压力敏感元件是压阻元件，是基于压阻效应工作 的。所谓压阻元件实际上就是指在半导体材料上用集成电路工艺制成的扩散电阻，当它受外力作用时，其阻值由于电阻率的变化而改变。该传感器的主要优点是体积小，结构比较简单，动态响应好，灵敏度高，能测出十几Pa的微压，它是一种比较理想的压力传感器。但是，这种传感器测量准确度受到非线性和温度的影响，从而影响