实验二教材资料钢的淬火回火工艺跟组织跟性能.pptVIP

七、实验注意事项 （1）实验之前须认真阅读有关仪器的使用说明，理解仪器操作规程及其先后操作步骤的关系； （2）在开启直流辉光放电等离子体增强化学气相沉积系统之前，需要确保冷却水已经打开； （3）实验结束后关闭水、电和气体。 八、思考题 （1）注意分子泵的开启时机，为什么刚开始抽真空不能直接开动分子泵？在对真空室进行通气时为何要关闭分子泵？ （2）热偶规管和电离规管的工作原理是什么？它们的量程范围是多少？ （3）等离子体是如何产生的？等离子与薄膜制备的关系？ （4）薄膜制备之前，为什么要对基片进行清洗？清洗主要有哪些方法？ 北京工业大学薄膜材料与技术实验室， 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室，/ 大连理工大学三束材料改性教育部重点实验室，/lab-tecn.htm 北京科技大学高技术薄膜材料研究室，/materials/kxyj/f1.mht 吉林大学超硬材料国家重点实验室， /index.html 广州有色金属研究院材料表面工程研究所，/index.htm 相关资源链接： Thin Film Technology Research Center, Korea Institute of Science and Technology, Seoul, http://diamond.kist.re.kr/DLC Center of Super-Diamond and Ad