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真空环境的划分：①低真空（ 102Pa）；②中真空（102 —10-1Pa）；③高真空（10-1—10-5Pa）；④超高真空（ 10-5Pa）
真空蒸发沉积：高真空和超高真空（10-3 Pa）
溅射沉积：中、高真空（10-2—10Pa）
低压化学气相沉积：中、低真空（10—100Pa）
电子显微分析：高真空
材料表面分析：超高真空
为了获得高真空蒸发系统，通常采用旋片式机械泵和涡轮分子泵两级真空泵联用，其中与真空室直接相连的是涡轮分子泵。
真空泵的原理和适用范围：
旋片式机械真空泵（输运式真空泵）：依靠安置在偏心转子中的可以滑进滑出的旋片将气体隔离、压缩，然后排出泵体之外。 10-
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