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2019-08-11 发布于河北
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PCM测试图形介绍

PCM Introduction XuBQ 2010-09-09 - 0 - Process Control Monitor (PCM) = Wafer Acceptance Test (WAT) = Electrical Test (E-test) - 1 - PCM工序的作用监控在线工艺对电参数的影响，以及工艺的波动； PCM一般判定规则: （1）根据PCM checklist，形成一个PCM summary测试参数组；（2 ）每片圆片通常都会测试(上中下左右）5个位置；（3 ）任何参数项的5个数据，失效数=3，则该圆片的PCM参数失效则该 wafer失效；（4 ）否则，该wafer 的PCM参数pass；判定wafer Pass/Fail 的一个重要依据，客户会根据PCM测试情况，决定接收、拒收还是有条件接收wafer 。 - 2 - Hardware structure(AG-4072/prober) 外置测试仪 4284/3458/8110 TEST HEAD SMU HP-UX CPU 工作站 SWM GNDU 光纤 GPIB 探针卡探针台 - 3 - Tester 基本部分包括I-V、C-V两类 IV：SMU、VSU 、VMU 、PGU； CV：4280/4284 ；以及万用表3457/3458; SMU Source Measurement Unit; VMU Voltage Measurement Unit; VSU Voltage Source Unit; PGU Pulse Generate Unit; GND Force Guard - 4 - 测试程序运作过程 RUN START 检查硬件 Master.6bc LOAD PROG TESTSUBS.6 根据输入产品信息，选择测试文件自动选择WAFER文件； TESTS.6 ；ALGS.4072 ； TSTLST ；测试项测试循环结