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气体分类二—毒性气体 到底有多毒? CO一氧化碳的毒性 容许浓度 体积浓度 (ppm-part per million百万分之一) 气体分类二—毒性气体 有毒气体危险防护 提供排风系统 正确操作气瓶 毒气监测系统 适当的个人装备 必要的岗前培训 气体分类二—腐蚀性气体 低腐蚀性 HF BCl3 高腐蚀性 HCl BF3 腐蚀性气体之危险性 摧毁人体生理组织 腐蚀设备 以下几种气体的危险性来自腐蚀性 HF, BCl3, HCl 气体分类二—腐蚀性气体 被腐蚀的瓶口阀 气体分类二—腐蚀性气体 腐蚀性危险的防护 提供排风系统 正确操作气瓶 采用相容的原材料 降低含水量 适当的个人防护设备 气体分类二—腐蚀性气体 操作腐蚀性气体所应配备的个人防护设备 橡胶防护服 橡胶手套 面具 SCBA可选 气瓶操作 气瓶操作 单瓶运输车 气瓶操作 多瓶运输车 气瓶操作 不要通过旋转来移动气瓶 气瓶操作 气瓶操作原则 不要机械撞击气瓶 不要用气瓶作为滚轮 不要通过气瓶盖吊升气瓶 不要用磁铁或吊索吊升气瓶 不要通过旋转来移动气瓶 固定住气瓶 气瓶操作 高温会引起瓶内压力上升 低温会引起瓶体易碎和瓶口阀实效 安全： 免除了不可接受的损害风险的状态。 危险： 事故损失发生的倾向。 事故: 造成死亡、疾病、伤害、损坏或其他损失的意外情况。 准事故： 仅指造成损坏、损失或其它意外情况。 安全的定义 安全的定义 危险源： 可能导致伤害或疾病/财产损失/工作环境破坏或这些情况组合的根源或状态。 可容许风险： 依据组织的法律义务和职业健康安全方针，已降低至组织可以接受程度的风险。 安全法则 * 谢谢！  Point out a few of the expansion ratios. Up to 860 times the original volume 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 Suzhou Institute of Nano-Tech and Nano-Bionics，CAS * 气体系统安全培训 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 Suzhou Institute of Nano-Tech and Nano-Bionics，CAS 主编：加工平台范亚明 目录 气体输送系统的三大设计准则 气体分类及相关知识 气瓶操作 安全定义及法则 气体系统安全 After this training, you will be able to: 了解半导体/电子行业气体种类及特性 了解低温气体的危害及防护 了解如何确保气体输送系统安全 了解如何正确操作钢瓶 设计准则 气体输送系统的三大设计准则 Safety 安全 Process Control 工艺控制（流量、压力等） Purity Control 纯度控制（纯度/颗粒度） 气体分类一 根据气体储存形式不同，分为： Bulk Gas 大宗气体（特指Ar, N2, O2, He, H2） Specialty Gas 特种气体 (SiH4, NH3, CF4, etc.) Compressed Dry Air干燥压缩空气 气体分类一—大宗气体 Bulk Gas 大宗气体--N2/Ar/O2 通常半导体工厂，厂务N2/ Ar/ O2以液态储存在槽罐内 气体分类一—大宗气体 低温液体 在常压下沸点低于-240oF (-115oC) 例如 　O2液化温度(-297 oF) (-183oC) 　Ar液化温度(-302 oF) (-186oC) 　N2液化温度(-320 oF) (-196oC) 　　oC=(oF-32)*5/9 气体分类一——大宗气体 低温液体危险性 低温 蒸气扩散 低温液体可能引起冻伤 气体分类一——大宗气体 低温引起的破裂 气体分类一—大宗气体 低温气体的其它危险 低温可能会引起周围物品的损伤危险 危险包括 过冷 过大的体积膨胀 雾 气体分类一—大宗气体 低温危险防护 提供排风系统 正确操作阀件 正确的系统设计 适当的个人防护设备 膨 胀 率 气体分类一—大宗气体 Bulk Gas 大宗气体--H2 /He 由于H2和He的液化温度极低，加之自然界游离态气体极少，故H2和He一