先进制造工艺技术...pptVIP

精密/超精密加工技术的内涵和特征 精密/超精密加工技术是适应现代化技术发展的一种机械加工新工艺，它综合应用了微电子技术，计算机技术，激光技术，使加工技术产生了飞跃发展 一 精密/超精密加工技术的内涵 亚微米加工 加工精度达到0.1微米级的加工 纳米加工 纳米级0.1 – 10 nm材料的产品 设计、加工、检验、控制等一系列技术 微细加工 制造微小尺寸零件的生产加工技术（半导体集成电路） 光整加工 降低加工工件表面粗糙度和提高表面层物理和力学性能的加工方法(抛光 磁流加工 磨料流加工） 精整加工 既能提高加工精度，又能提高表面质量的加工方法（研磨 双端面研磨） 二 精密与超精密加工技术的特点 1 微量切削 2 综合性高技术 3 采用自动化技术来保证加工精度和表面质 量 （计算机控制 在线控制 自适应控制 ） 4 综合应用各种加工方法 （传统切削和磨削 特种加工 复合加工） 三 精密与超精密加工技术的应用 1 超精密零件加工、 2 超精密异形零件加工 3 超精密光学零件加工 四 精密与超精密加工技术加工方法 传统型 主要依靠机械力去除工件材料 特种型 采用其他形式的能量去除工件材料 复合型 传统方法的复合 特种方法的复合 传统方法和 特种方法的复合 五 精密与超精密加工技术关键技术 1 加工机理（以金刚石刀具超精密切削为例） 2） 技术要求 超微量切削特征 刀尖附近的极小局部区域能承受高温高压 实现超薄切削 刀刃平直 工件材料的抗粘性好，化学亲和力好，摩擦系数小 4）在线检测盒误差补偿 工件检测 光波干涉测量 隧道扫面显微镜 机床本身精度检测 主轴工作台径向跳动 机床重复定位检测 5）工作环境 恒温 超净 防振 恒湿 刀具切削刃比较 金刚石粉烧结体 立方氮化硼烧结体（CBN） 单晶金刚石 单晶金刚石刀具 金刚石的晶体结构和刃磨 单晶金刚石研磨后的刀刃 多晶金刚石研磨后的刀刃 立方体 八面体 十二面体 单晶金刚石刀具 单晶金刚石的硬度（努氏硬度） 单晶金刚石刀具 单晶金刚石的热稳定性 金刚石的热稳定性与周围介质、硬度等有关 金刚石在不同介质条件下受热升温时所发生的状态 单晶金刚石刀具 单晶金刚石的热稳定性 MBD6型金刚石在不同温度下保温1小时的抗压强度曲线 MBD6型金刚石在800℃加热不同时间的抗压强度曲线 * * 精密与超精密加工是指加工精度和表面质量达到极高程度的精密加工工艺。随着加工技术的发展，精密加工的技术指标也在不断变化。 一般加工：精度值1-10μm左右，Ra0.1～0.8μm 精密加工：精度值0.1-1μm左右，Ra0.1μm以下 超精密加工：精度值0.1μm以下，Ra0.02μm以下 纳米加工：精度值低于0.001μm，Ra小于0.005μm 加 工 类 别 项 目 ≦0.025 0.10 - 0.025 表面粗糙度 0.25 - 0.13 1.25 - 0.38 平面度 0.25 - 0.13 1.25 - 0.38 圆柱度 0.12 - 0.02 0.70 - 0.20 圆度 0.20 - 0.25 2.5 - 0.75 尺寸精度 超精密加工 精密加工 当前精密加工和超精密加工的水平 陀螺仪 飞机发动机的叶片 大规模集成电路 芯片局部显微图像 单晶硅切片制造芯片 切割封装 Hubble望远镜 微细齿轮 超精密切削（车削、铣削） 超精密磨削 超精密研磨、抛光 微细（超微细，纳米）加工 宏观加工技术 微观加工技术 1）刀具要非常锐利 切削刃钝圆半径要很小 2） 刀刃能承受巨大切应力 3） 刀刃具有很强的高温强度和高温刚度 目前的超精密加工机床一般采用高精度空气静压轴承支撑主轴系统；空气静压导轨支撑进给系统的结构模式。 另外，要实现超微量的切削，必须配有微量移动工作台的微进给驱动装置（摩擦驱动方式）和满足刀具角度微调的微量进给机构，并实现数字控制。 3）加工机床 1）主轴：要求极高的回转精度和刚度。 空气静压轴承主轴能够得到高于轴承零件本身的回转精度。 2) 导轨及进给驱动装置：动作灵活，无爬行等不连续动作， 直线精度好。通常采用空气静压导轨 。 空气静压导轨 摩擦驱动原理图 NAM800 LODTM超精密金刚石车床 国际知名超精密加工研究单位与企业主要有： 美国LLNL实验室和Moore公司 英国Granfield大学和Tayler公司 德国Zeiss（蔡司）公司和Kugler公司 日本东芝机械、丰田工机和不二越公司等 国内主要的研究单位有北京机床研究所、清华大学、哈尔滨工业大学